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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
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연구책임자 | 양찬우 |
참여연구자 | 이정수 , 송영식 , 이준균 , 김나영 , 서재덕 , 한수현 , 박수정 , 신상원 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2021-11 |
과제시작연도 | 2021 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
연구관리전문기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
등록번호 | TRKO202300028957 |
과제고유번호 | 1711150342 |
사업명 | 한국생산기술연구원연구운영비지원(R&D)(주요사업비) |
DB 구축일자 | 2024-06-11 |
키워드 | 반응성스퍼터.질화티탄.플라즈마 모니터링.품질예측.공정제어.Reactive Sputter.TiN.Plasma Monitoring.Quality Prediction.Process Control. |
□ 연구내용
○ TiN 반응성 스퍼터링 실시간 플라즈마 모니터링 OES 데이터 취득 기술개발 및 검증
- OES 센서 상부 증착회피모듈 적용 평가 및 검증(OES 측정값 유지율)
· OES 플라즈마 발광 Intensity 측정값 유지율 93.8%~98.9% 수준으로 정량적 목표 90% 이상 달성
- OES 데이터 취득 파장 선정 및 TiN 조성비 품질과의 정합성·상관성 분석
· 반응성 스퍼터링 TiN 공정조건별 N2 Intensity와 N2/Ti의 Intensity
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