초록 ▼

□ 연구개요
4차 산업혁명시대의 스마트 기술, 데이터, 자동화, 상호 연결성, 인공 지능 등의 기술은 공장과 산업 조직의 운영 방식을 혁신적으로 변화시키고 있다. 이상 탐지는 스마트 팩토리의 확대 및 고도화를 위한 핵심 기술 중 하나이며 제조업뿐만 기계 센서 모니터링, 휴먼 헬스 모니터링, 금융, 기후 변화, 통신 데이터 등 광범위한 분야에 응용되고 있다. 본 연구에서는 다양한 산업의 센서 데이터를 활용하여 장비의 이상을 탐지하고, 현재 상태를 분류하는 것을 목적으로 한다.
본 연구는 타겟 탐지 기술로 장비의 이상을 탐지

□ 연구개요
4차 산업혁명시대의 스마트 기술, 데이터, 자동화, 상호 연결성, 인공 지능 등의 기술은 공장과 산업 조직의 운영 방식을 혁신적으로 변화시키고 있다. 이상 탐지는 스마트 팩토리의 확대 및 고도화를 위한 핵심 기술 중 하나이며 제조업뿐만 기계 센서 모니터링, 휴먼 헬스 모니터링, 금융, 기후 변화, 통신 데이터 등 광범위한 분야에 응용되고 있다. 본 연구에서는 다양한 산업의 센서 데이터를 활용하여 장비의 이상을 탐지하고, 현재 상태를 분류하는 것을 목적으로 한다.
본 연구는 타겟 탐지 기술로 장비의 이상을 탐지하고, 현재 상태를 분류함으로써 산업현장의 작업자를 지원하고 장비 고장으로 인한 문제 예방 및 손실 비용을 최소화할 수 있다. 이와 같은 지능형 장비 개발을 위한 병행연구로 상수관로 누수 탐지와 3상 유도전동기 이상 탐지 연구를 수행한다.

□ 연구 목표대비 연구결과
- 반도체 플라즈마 식각 종점 탐지
Time series anomaly detection using generative adversarial networks(TadGAN) 기반의 탐지 기술 개발
Multivariate kernel density estimation (MKDE) 기반의 탐지 기술 개발
기존 MKDE 방식에서 확장한 supervised MKDE 기법 제안
- 상수관로 누수 탐지
Support Vector Machines 기반의 탐지 기술 개발
Convolutional neural network 기반의 탐지 기술 개발
누수 및 기타 소리 유형 분류
- 3상 유도전동기 이상 탐지
유도전동기 이상 탐지를 위한 특징 정의 및 제안
MKDE 기반의 이상 탐지 기술 개발

□ 연구개발성과의 활용 계획 및 기대효과(연구개발결과의 중요성)
짧은 시간 차이로 지대한 영향을 미치는 반도체 미세 공정에서 식각종점을 예측하여 정확한 시기에 공정을 완료하는 것은 매우 중요하다. 본 연구 결과를 통한 식각종점 탐지 기술은 반도체 플라즈마 식각 공정 현장에서 작업자를 지원하여 반도체 수율 향상에 기여할 수 있다.
또한 다양한 현장에서 사용되는 상수관로의 누수와 유도전동기의 이상을 탐지하는 기술은 현재 상태를 분류함으로써 고장으로 인한 문제 예방 및 손실비용을 최소화할 수 있다.

(출처 : 연구결과 요약문 2p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 연구결과 요약문 ... 2
• 목차 ... 3
• 1. 연구개발과제의 개요 ... 4
• 2. 연구개발과제의 수행 과정 및 수행 내용 ... 4
• 가. 1차년도 연구개발 ... 4
• 나. 2차년도 연구개발 ... 7
• 다. 3차년도 연구개발 ... 10
• 3. 연구개발과제의 수행 결과 및 목표 달성 수준 ... 11
• 1) 정성적 연구개발성과(연구개발결과) ... 11
• 2) 세부 정량적 연구개발성과 ... 12
• 3) 목표 달성 수준 ... 12
• 4. 연구개발성과의 관련 분야에 대한 기여 정도(연구개발결과의 중요성) ... 12
• 가. 연구개발성과의 활용방안 ... 12
• 나. 연구개발성과의 기대효과 ... 12
• 5. 연구개발성과의 관리 및 활용 계획 ... 13
• 가. 기술 특허 ... 13
• 나. 연구개발성과 활용분야 ... 13
• 다. 추가연구 및 기업화 고려 ... 13
• 6. 자체점검표 ... 13
• 7. 참고문헌 ... 13
• 끝페이지 ... 25