초록 ▼

□ 연구개발 목표
o 나노막대 LED 성장을 위한 나노마스크 패터닝 기술 개발
- 나노마스크 제작을 위한 나노임프린트 스탬프 개발
- 나노막대 LED 성장을 위한 나노마스크 패터닝 공정 기술 개발
- 나노마스크 패터닝 공정을 위한 극저압 나노임프린트 시스템 기술 개발

□ 연구개발 내용
1. 나노마스크용 임프린트 스탬프 개발
- 나노막대 형성을 위한 나노임프린트용 마스터 스탬프 제작
- 형상 제어된 나노마스크용 임프린트 스탬프 설계 및 제작
- 최적의 나노막대 성장 조건에 따른

□ 연구개발 목표
o 나노막대 LED 성장을 위한 나노마스크 패터닝 기술 개발
- 나노마스크 제작을 위한 나노임프린트 스탬프 개발
- 나노막대 LED 성장을 위한 나노마스크 패터닝 공정 기술 개발
- 나노마스크 패터닝 공정을 위한 극저압 나노임프린트 시스템 기술 개발

□ 연구개발 내용
1. 나노마스크용 임프린트 스탬프 개발
- 나노막대 형성을 위한 나노임프린트용 마스터 스탬프 제작
- 형상 제어된 나노마스크용 임프린트 스탬프 설계 및 제작
- 최적의 나노막대 성장 조건에 따른 나노마스크용 임프린트 스탬프 설계·제작
2. 나노막대 LED 성장을 위한 나노마스크 패터닝 공정 기술 개발
- Inorganic 나노마스크 제작을 위한 패터닝 공정 기술 개발
- 나노막대 성장을 위한 damage-free 나노마스크 패터닝 공정 개발
- 나노마스크 패턴의 uniformity 향상을 위한 최적화 공정 개발
3. 나노마스크 패터닝 공정을 위한 극저압 나노임프린트 시스템 기술 개발
- 극저압 나노임프린트 공정을 위한 시스템 요소 기술 개발
- 극저압 나노임프린트 공정용 시스템 개발
- 나노임프린트 공정의 생산성 향상을 위한 시스템 성능 개선

□ 활용계획 및 기대효과(응용분야 및 활용범위 포함)
o 본 연구개발을 통해 얻어지는 inorganic 소재 기반의 나노패터닝 기술은 나노 막대를 기반으로 하는 LED 소자 뿐 아니라 광학 및 바이오 소자 등 다양한 기능성 소자 제작에 활용이 가능함
o 나노미터급 패터닝이 가능한 극저압 임프린트 시스템은 다양한 소재 기반의 기능성 소자 제작에 적용이 가능하며 추후 대량 생산에 활용될 수 있는 가능성이 높음
o 본 연구개발을 통해 확보된 요소 기술을 바탕으로 기존의 나노소자 산업 고도화 및 차세대 소자를 이용한 신산업 창출에 활용할 수 있을 것으로 예상됨
o 나노임프린트 기술을 이용한 나노패터닝 기술의 경우 일반적인 광학식 패터닝 장비에 비해 투자비용이 높지 않아 관련 설비 구축이 상대적으로 유리하므로 본 연구개발을 통해 극저압의 나노임프린트 시스템 기술을 보편화 함으로써 관련 기술을 활용한 다양한 응용 연구개발이 이루어질 수 있을 것으로 기대함
o 본 연구개발을 통해 얻어지는 추가 공정을 통해 종래의 나노임프린트가 가지는 소재의 한계를 극복하여, 폴리머 중심의 패터닝 기술을 금속 등 inorganic 소재로 확장시키는 핵심 기반 기술로 자리 잡음으로써 나노미터급 패터닝 기술의 고도화에 기여할 수 있을 것으로 보임

(출처 : 요약문 2p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 요 약 문 ... 2
• 목차 ... 4
• 1. 연구개발 목표 및 평가항목별 성과 ... 5
• 1-1. 연구개발 목표 ... 5
• 1-2. 평가항목별 성과 ... 6
• 1-3. 목표 미달 시 원인 분석 ... 9
• 1-4. 연구개발 목표 및 주요내용 변경사항 ... 9
• 1-5. 선정/단계/연차점검의견 ... 10
• 2. 추진내용 및 연구개발결과 ... 11
• 2-1. 추진내용 및 연구개발결과 ... 11
• 2-2. 추진 일정 실적 ... 54
• 2-3. 연구개발성과의 관련 분야에 대한 기여정도 ... 55
• 2-4. 연구개발성과의 관리 및 활용 계획 ... 58
• 2-5. 계획하지 않은 성과 및 관련 분야 기여사항 ... 59
• 3. 당초 연구계획 대비 주요 변경사항 ... 60
• 끝페이지 ... 60