초록 ▼

1. 연구개발 목표
□ 최종 연구 목표
◦ 반도체 및 디스플레이 제조의 핵심 공정 장비인 레이저 가공기의 성능 향상을 위해 레이저 가공기 핵심 부품인 kW급 GHz 극초단 레이저 개발
- 광 변조 기술(Electro-optic comb) 기반 가변 GHz 펄스 개발
- 광 스펙트럼 확장을 통한 극초단 펄스폭 압축 기술 개발
- kW급 고반복률 극초단 펄스 증폭기술 개발
- 장기 신뢰성 확보를 위한 모듈화 패키징 기술 개발
- 세계 최초 모듈형 타입* kW급 레이저 기술 개발
* 레이저 펄스

1. 연구개발 목표
□ 최종 연구 목표
◦ 반도체 및 디스플레이 제조의 핵심 공정 장비인 레이저 가공기의 성능 향상을 위해 레이저 가공기 핵심 부품인 kW급 GHz 극초단 레이저 개발
- 광 변조 기술(Electro-optic comb) 기반 가변 GHz 펄스 개발
- 광 스펙트럼 확장을 통한 극초단 펄스폭 압축 기술 개발
- kW급 고반복률 극초단 펄스 증폭기술 개발
- 장기 신뢰성 확보를 위한 모듈화 패키징 기술 개발
- 세계 최초 모듈형 타입* kW급 레이저 기술 개발
* 레이저 펄스 생성부를 모듈형 타입으로 개발하여 반복률 조정 및 수요자 맞춤형 제작, 고장 진단, 유지보수 등 산업계 대응 용이
< 2차년도: 2023 >
◦ 10 W GHz 극초단 레이저 증폭부 개발
◦ 10 W 레이저 시작품용 전장 및 제어 S/W 개발
◦ 10 W 레이저 패키징 설계 및 1차 시작품 제작
◦ 10 W 레이저의 신뢰성 평가를 위한 시험 설비 개발

(출처 : 본문 1. 연구개발 목표 2p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 1. 연구개발 목표 ... 2
• 2. 내용 및 결과 ... 3
• 3. 연구개발 목표의 달성도 ... 23
• 가. 최종 연구목표 대비 진척도 ... 23
• 나. 정성적 성과 ... 25
• 다. 기술적 성과 ... 25
• 라. 정량적 성과 ... 26
• 4. 세부 연구성과 ... 27
• 가. 논문 게재 성과 ... 27
• 나. 지식재산권 성과 ... 27
• 다. 소프트웨어 성과 ... 27
• 라. 기술료 징수 현황 ... 27
• 마. 학술회의 개최 성과 ... 28
• 바. 경제·사회 파급효과 ... 28
• 5. 구매금액이 3천만 원 이상인 연구시설·장비 구매 현황 ... 28
• 6. 연구비 집행 실적 ... 29
• 7. 연구수행에 따른 문제점 및 개선방향 ... 30
• 8. 당해 연도 연구수행 중 주요 연구변경 사항 ... 30
• 9. 그 밖에 건의하고 싶은 사항 ... 30
• 끝페이지 ... 31