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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
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연구책임자 | 최지연 |
참여연구자 | 정윤찬 , 김지원 |
보고서유형 | 연차보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2024-02 |
과제시작연도 | 2023 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
연구관리전문기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
등록번호 | TRKO202400012442 |
과제고유번호 | 1711202381 |
사업명 | 한국기계연구원연구운영비지원(주요사업비) |
DB 구축일자 | 2024-10-02 |
키워드 | kW급.광변조.GHz 버스트.광섬유 레이저.극초단 레이저.kW-class.GHz burst.Electro-optic comb.fiber laser.ultrafast laser. |
1. 연구개발 목표
□ 최종 연구 목표
◦ 반도체 및 디스플레이 제조의 핵심 공정 장비인 레이저 가공기의 성능 향상을 위해 레이저 가공기 핵심 부품인 kW급 GHz 극초단 레이저 개발
- 광 변조 기술(Electro-optic comb) 기반 가변 GHz 펄스 개발
- 광 스펙트럼 확장을 통한 극초단 펄스폭 압축 기술 개발
- kW급 고반복률 극초단 펄스 증폭기술 개발
- 장기 신뢰성 확보를 위한 모듈화 패키징 기술 개발
- 세계 최초 모듈형 타입* kW급 레이저 기술 개발
* 레이저 펄스
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