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NTIS 바로가기The Cu-induced solid phase crystallization of undoped a-Si thin films deposited by low pressure chemical vapor deposition (LPCVD) has been investigated. In this study, we used Cu-solution coating method by spin coater. The Cu-solution coated a-Si films were then thermally annealed at relatively low ...
저자 | Cho, Seong-Woo |
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학위수여기관 | 한국과학기술원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 전자재료공학과 |
지도교수 | Ahn, Byung-Tae |
발행연도 | 1995 |
총페이지 | iii, 83 p. |
키워드 | Amorphous semiconductors Crystallization Transmission electron microscopy 비정질 반도체 결정화 전기적 성질 화학 증착 Chemical vapor deposition 스핀 코팅 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T6390425&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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