초록

스핀코터 및 이를 구비하는 기판처리장치가 제공된다. 스핀 코터는 상면에 가공대상 기판을 고정하여 회전시키는 회전척 구조물, 기판을 둘러싸도록 배치되어 기판 주변의 공기유동을 하방으로 유도하는 보울(bowl) 및 기판의 에지와 보울 사이에 배치되도록 보울에 착탈식으로 결합되고상기 공기유동을 선형 유동과 비선형 유동으로 분리하는 유동제어 구조물을 포함한다. 기판 에지영역에서 유동속도를 높이고 와류를 방지하여 코팅막의 두께 균일도를 높이고 와류에 의한 코팅막 오염을 방지할 수 있다.

대표청구항 ▼

상면에 가공대상 기판을 고정하여 회전시키는 회전척 구조물; 상기 기판을 둘러싸도록 배치되어 상기 기판 주변의 공기유동을 하방으로 유도하고 상면에 제1 단턱을 구비하는 보울(bowl); 및 상기 기판의 에지와 상기 보울 사이에 배치되도록 상기 보울에 착탈식으로 결합되고, 상기 공기유동을 상대적으로 유동속도가 큰 제1 유동과 상대적으로 유동속도가 작은 제2 유동으로 분리하는 유동제어 구조물을 포함하고,상기 유동제어 구조물은,상기 보울의 상면과 동일한 평면을 구성하는 상면부, 상기 상면부의 하부에 구비되고 상기 제1 단턱과 상보적인 형상

상면에 가공대상 기판을 고정하여 회전시키는 회전척 구조물; 상기 기판을 둘러싸도록 배치되어 상기 기판 주변의 공기유동을 하방으로 유도하고 상면에 제1 단턱을 구비하는 보울(bowl); 및 상기 기판의 에지와 상기 보울 사이에 배치되도록 상기 보울에 착탈식으로 결합되고, 상기 공기유동을 상대적으로 유동속도가 큰 제1 유동과 상대적으로 유동속도가 작은 제2 유동으로 분리하는 유동제어 구조물을 포함하고,상기 유동제어 구조물은,상기 보울의 상면과 동일한 평면을 구성하는 상면부, 상기 상면부의 하부에 구비되고 상기 제1 단턱과 상보적인 형상을 갖는 제2 단턱을 구비하는 결합부 및 상기 상면부와 상기 결합부에 걸쳐 위치하고 상기 기판을 향하여 볼록한 제1곡면을 갖는 몸체 유동 가이드부를 구비하고, 상기 제1 단턱과 상기 제2 단턱의 결합에 의해 상기 보울의 상단부에 착탈식으로 결합하는 링 형상의 몸체를 구비하는 스핀 코터.