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NTIS 바로가기유해하고 가연성이 있는 가스들에 대한 감지와 측정이 중요한 기술임은 주지의 사실이다. 이러한 점에서, 가스의 흡착 탈착 반응으로 재료 표면의 전기전도도가 변하는 반도체 가스센서는 그에 대한 적절한 해결책을 제공하고 있다. 가스 센서에서 히터 및 전극으로 가장 널리 쓰이고 있는 Pt의 물성에는 많은 연구가 있었지만 실제 작동온도에 관한 연구는 미비한 실정이다. 따라서 본 연구에서는 박막 가스센서에 Cr/Pt과 Ti/Pt을 사용한 Pt재료의 안정성에 대해 센서 작동 온도에서의 열처리와 열싸이클링 후의 ...
The importance of good techniques to detect and measure the presence of harmful toxic and inflammable gases must undoubtedly be recognized. Semiconductor gas sensors serve as an appropriate solution since their electrical conductivity changes as a result of adsorption and desorption of a gas at the ...
저자 | 김종민 |
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학위수여기관 | 전남대학교 대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 금속공학과 |
지도교수 | 李秉澤 |
발행연도 | 2001 |
총페이지 | 54p. |
키워드 | Si 기반 박막센서용 Pt 박막 열처리 열사이클링 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T7987655&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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