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In this study, we have investigated the SILC(sress-induced leakage current) characteristic of thermally(dry, wet) and chemically grown ultra-thin silicon dioxide films by STM. We injected hot electons from tip into sillcon dioxide film under high bias voltage and current and produced trap sites in o...
저자 | 유재춘 |
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학위수여기관 | 연세대학교 대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 물리및응용물리 |
지도교수 | 여인환 |
발행연도 | 2001 |
총페이지 | iv, 36장 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T8025930&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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