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Arc Ion Plating에 의한 TiN 증착에 있어서 공정변수가 증착특성에 미치는 영향
The Effect on TiN Deposition Characteristics with Variable Processes by Arc Ion Plating 원문보기


朴炫洙 (서울산업대 材料工學科 국내석사)

초록
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본 논문에서는 고속도 공구강중 특히 많이 사용하고 있는 Mo계 SKH51에 대하여 내구성 향상과 열처리에 의한 공구의 변형을 최소화하기 위한 최적의 tempering 온도 범위와 횟수를 조사하였으며, 전 처리된 SKH51에 대하여 Arc Ion Plation을 통한 TiN코팅을 하였으며 증착층의 성장과 물성에 크게 영향을 주는 N₂가스압력 의 증가,

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

Recently, much emphasis places on coating technologies of ceramic materials, such as TiN on the high speed steel tools in order to improve machinability and lifes of steel tools. There has been, however, some difficulties that coating temperature must be limited within ∼500℃ because problems of soft...

주제어

#Arc Ion Plating TiN 증착 공정변수 

학위논문 정보

저자 朴炫洙
학위수여기관 서울산업대
학위구분 국내석사
학과 材料工學科
발행연도 2001
총페이지 vii, 60 p.
키워드 Arc Ion Plating TiN 증착 공정변수
언어 kor
원문 URL http://www.riss.kr/link?id=T8960091&outLink=K
정보원 한국교육학술정보원
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