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저자 | 최규정 |
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학위수여기관 | 忠南大學校 |
학위구분 | 국내박사 |
학과 | 재료공학과 재료공학전공 |
발행연도 | 2003 |
총페이지 | xiii, 183p. |
키워드 | 산화막[酸化膜] 하프늄[hafnium] 유전체(전기)[誘電體] 게이트[gate] 고유전율 게이트 유전체 하프늄계 하프늄 산화막 제조 PREPARATION PROPERTIES HAFNIUM OXIDE HIGH-K GATE DIELECTRIC |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T9414798&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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