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NTIS 바로가기본 논문에서는 표면 단차 측정기 개발에 관하여 연구 하였다. 최근에는 백색광을 이용하거나 Automic force를 이용한 비접촉식 표면 단차 측정기도 많이 사용되고 있으나 촉침을 이용한 표면 단차 측정기도 정밀한 측정을 위해 더욱 향상된 기술로 많이 개발되어지고 있다. 접촉식 표면 단차 측정기는 선형 변위 차동 트랜스(LVDT)를 이용하여 표면의 단차를 측정 하는 장치이다. 표면 단차 측정기의 ...
저자 | 송기오 |
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학위수여기관 | 中央大學校 大學院 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 電子工學科 半導體工學專攻 |
발행연도 | 2002 |
총페이지 | 33 장 |
키워드 | 전자공학 반도체공학 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T9893907&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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