방전가공이란 방전현상에의해 발생하는 열에너지를 이용하는 가공법이며, 일반적으로 절삭가공이 어려운 담금질강, 초경합금뿐만 아니라 공업용 다이아몬드 및 전도성 세라믹스 같은 매우 경한 재료 및 형상으로 도전성 재질이라면 용이하게 가공할 수 있다. 그러나 절삭가공에 비하여 가공 속도가 느리고, 거울면과 같은 표면을 얻기 어려우며, 피삭재 표면 열영향층의 연화 및 경화로 인한 취성, 잔류응력에 의한 균열 등으로, 제품화 하기엔 2차 가공 또는 추가적인 열처리가 필요하다. 최근에는 와이어의 종류가 다양하게 개발됨에 따라 피삭재에 코팅효과를 초래하여 기계적 성질의 향상을 기대하게 되었다. 본 논문은 반도체 기술의 급진적인 발전으로 인한 고정밀도와 리드폭 초소형화 추세에 대응하기 위하여, 반도체 금형부품재료인 초경소재의 가공물에 형상가공을 위한 초미세홀 방전가공 기술을 연구하고자 하는데 있다. 정밀도를 결정지을 수 있는 주요 기능은 ILP(Inner Leade ...
방전가공이란 방전현상에의해 발생하는 열에너지를 이용하는 가공법이며, 일반적으로 절삭가공이 어려운 담금질강, 초경합금뿐만 아니라 공업용 다이아몬드 및 전도성 세라믹스 같은 매우 경한 재료 및 형상으로 도전성 재질이라면 용이하게 가공할 수 있다. 그러나 절삭가공에 비하여 가공 속도가 느리고, 거울면과 같은 표면을 얻기 어려우며, 피삭재 표면 열영향층의 연화 및 경화로 인한 취성, 잔류응력에 의한 균열 등으로, 제품화 하기엔 2차 가공 또는 추가적인 열처리가 필요하다. 최근에는 와이어의 종류가 다양하게 개발됨에 따라 피삭재에 코팅효과를 초래하여 기계적 성질의 향상을 기대하게 되었다. 본 논문은 반도체 기술의 급진적인 발전으로 인한 고정밀도와 리드폭 초소형화 추세에 대응하기 위하여, 반도체 금형부품재료인 초경소재의 가공물에 형상가공을 위한 초미세홀 방전가공 기술을 연구하고자 하는데 있다. 정밀도를 결정지을 수 있는 주요 기능은 ILP(Inner Leade Pitch), 형상폭을 결정하는, 미세홀 가공이 핵심이며 제품의 경쟁력을 결정짓는 요소라고 할 수 있다. 이를 위한 각국의 반도체 제조회사들은 앞선 기술력 확보를 위하여 많은 연구개발에 치중하고 있다.
방전가공이란 방전현상에의해 발생하는 열에너지를 이용하는 가공법이며, 일반적으로 절삭가공이 어려운 담금질강, 초경합금뿐만 아니라 공업용 다이아몬드 및 전도성 세라믹스 같은 매우 경한 재료 및 형상으로 도전성 재질이라면 용이하게 가공할 수 있다. 그러나 절삭가공에 비하여 가공 속도가 느리고, 거울면과 같은 표면을 얻기 어려우며, 피삭재 표면 열영향층의 연화 및 경화로 인한 취성, 잔류응력에 의한 균열 등으로, 제품화 하기엔 2차 가공 또는 추가적인 열처리가 필요하다. 최근에는 와이어의 종류가 다양하게 개발됨에 따라 피삭재에 코팅효과를 초래하여 기계적 성질의 향상을 기대하게 되었다. 본 논문은 반도체 기술의 급진적인 발전으로 인한 고정밀도와 리드폭 초소형화 추세에 대응하기 위하여, 반도체 금형부품재료인 초경소재의 가공물에 형상가공을 위한 초미세홀 방전가공 기술을 연구하고자 하는데 있다. 정밀도를 결정지을 수 있는 주요 기능은 ILP(Inner Leade Pitch), 형상폭을 결정하는, 미세홀 가공이 핵심이며 제품의 경쟁력을 결정짓는 요소라고 할 수 있다. 이를 위한 각국의 반도체 제조회사들은 앞선 기술력 확보를 위하여 많은 연구개발에 치중하고 있다.
Electrical discharge machining is the method of using thermal energy by electrical discharge. Generally, If the material of workpiece has conductivity even though very hard materials and complicated shape which are difficult to cut such as quenching steel, cemented carbide, diamond and conductive ce...
Electrical discharge machining is the method of using thermal energy by electrical discharge. Generally, If the material of workpiece has conductivity even though very hard materials and complicated shape which are difficult to cut such as quenching steel, cemented carbide, diamond and conductive ceramics, the EDM process is favorable one of possible machining processes. But, the process is necessarily required of finish cut and heat treatment because of slow cutting speed, no mirror surface, brittleness and crack due to the residual stress for manufactured goods. In this experimental thesis, the super EDM drilling was developed for high precision semiconductor die steel and for minimization of leadframe width. It was possible to development of EDM drilling machine for high precision semiconductor die with the electrode guide and its modelling and stress analysis. The development of electrode with the copper pipe type was conducted to drill the hole from the diameter of 0.1mm to 3.0mm with the error of from 0.02mm to 0.12mm. From the SEM and EDX analysis, the entrance of the EDM drill was found the resolidification of not only the component of tungsten but also the component of copper.
Electrical discharge machining is the method of using thermal energy by electrical discharge. Generally, If the material of workpiece has conductivity even though very hard materials and complicated shape which are difficult to cut such as quenching steel, cemented carbide, diamond and conductive ceramics, the EDM process is favorable one of possible machining processes. But, the process is necessarily required of finish cut and heat treatment because of slow cutting speed, no mirror surface, brittleness and crack due to the residual stress for manufactured goods. In this experimental thesis, the super EDM drilling was developed for high precision semiconductor die steel and for minimization of leadframe width. It was possible to development of EDM drilling machine for high precision semiconductor die with the electrode guide and its modelling and stress analysis. The development of electrode with the copper pipe type was conducted to drill the hole from the diameter of 0.1mm to 3.0mm with the error of from 0.02mm to 0.12mm. From the SEM and EDX analysis, the entrance of the EDM drill was found the resolidification of not only the component of tungsten but also the component of copper.
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