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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국전기연구원 Korea Electrotechnology Research Institute |
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연구책임자 | 오현석 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2011-12 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 미래창조과학부 KA |
사업 관리 기관 | 한국전기연구원 Korea Electrotechnology Research Institute |
등록번호 | TRKO201300029761 |
과제고유번호 | 1415121560 |
사업명 | 한국전기연구원연구운영비지원 |
DB 구축일자 | 2013-10-05 |
키워드 | 나노패턴.금형.원통형.노광.식각.nano pattern.mold.cylindrical.lithography.etching. |
Ⅲ. 연구개발의 내용 및 범위
본 과제는 나노 금형 제작 기술의 개발 및 상용화에 관련된 연구를 수행하였으며 나노 식각 공정 신뢰성 확보, 이온 가공을 이용한 나노 구조물 제작, 나노/마이크로 복합 패턴 금형 제작 공정 개발, 나노 홀로그램 패턴을 갖는 원통 금형 및 외장 고급화 시제품 제작 등에 관한 연구를 수행하였다.
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