SEM(scanning electron microscope)은 10nm 이내의 크기까지 측정할 수 있을 정도로 고 정밀한 나노급 측정 장비로 현재 나노 관련 기술 개발에 많이 사용되고 있다. 그러나 이 장비는 거의 대부분 일본 및 미국에서 수입되고 있으며 해마다 그 양이 증대되고 있다. 본 연구에서는 SEM의 중요한 요소기술로서 전자 검출기와 회로를 새롭게 설계, 제작하여 원하는 고해상도의 고정밀 측정시스템을 구축하고자 하였다. ...
SEM(scanning electron microscope)은 10nm 이내의 크기까지 측정할 수 있을 정도로 고 정밀한 나노급 측정 장비로 현재 나노 관련 기술 개발에 많이 사용되고 있다. 그러나 이 장비는 거의 대부분 일본 및 미국에서 수입되고 있으며 해마다 그 양이 증대되고 있다. 본 연구에서는 SEM의 중요한 요소기술로서 전자 검출기와 회로를 새롭게 설계, 제작하여 원하는 고해상도의 고정밀 측정시스템을 구축하고자 하였다. 패러데이케이지, 라이트 가이드, 신틸레이터, PMT 등으로 구성되는 주사전자현미경용 이차전자검출기의 기구부와 PMT 구동회로, I/V 변환회로, 전압 증폭기 등으로 구성되는 회로부를 설계, 제작하였으며, 제작된 검출기를 이용하여 검출실험을 수행한 결과, 선진사(JEOL)의 검출기와 동등한 수준의 성능을 보였다. 또한, 본 연구에서는 이차전자 검출기의 구성요소 중 소모성부품이며 비교적 고가인 신틸레이터의 최적의 제작조건을 선정하기 위하여 투과율 측정을 통한 신틸레이터 ITO 박막의 증착 조건에 관한 실험과 형광분말의 침적두께 및 성분비의 변화에 따른 신틸레이터의 성능변화 실험을 수행하였다. 주사전자현미경 챔버 내에서의 검출기의 최적위치를 선정하기 위하여 본 연구에서는 신틸레이터와 시편간의 거리, 신틸레이터의 검출기 내 위치, 검출기의 각도 등의 파라미터값을 변화시키며 이차전자의 검출율을 유한요소 해석법을 이용하여 계산하였다.
SEM(scanning electron microscope)은 10nm 이내의 크기까지 측정할 수 있을 정도로 고 정밀한 나노급 측정 장비로 현재 나노 관련 기술 개발에 많이 사용되고 있다. 그러나 이 장비는 거의 대부분 일본 및 미국에서 수입되고 있으며 해마다 그 양이 증대되고 있다. 본 연구에서는 SEM의 중요한 요소기술로서 전자 검출기와 회로를 새롭게 설계, 제작하여 원하는 고해상도의 고정밀 측정시스템을 구축하고자 하였다. 패러데이 케이지, 라이트 가이드, 신틸레이터, PMT 등으로 구성되는 주사전자현미경용 이차전자검출기의 기구부와 PMT 구동회로, I/V 변환회로, 전압 증폭기 등으로 구성되는 회로부를 설계, 제작하였으며, 제작된 검출기를 이용하여 검출실험을 수행한 결과, 선진사(JEOL)의 검출기와 동등한 수준의 성능을 보였다. 또한, 본 연구에서는 이차전자 검출기의 구성요소 중 소모성부품이며 비교적 고가인 신틸레이터의 최적의 제작조건을 선정하기 위하여 투과율 측정을 통한 신틸레이터 ITO 박막의 증착 조건에 관한 실험과 형광분말의 침적두께 및 성분비의 변화에 따른 신틸레이터의 성능변화 실험을 수행하였다. 주사전자현미경 챔버 내에서의 검출기의 최적위치를 선정하기 위하여 본 연구에서는 신틸레이터와 시편간의 거리, 신틸레이터의 검출기 내 위치, 검출기의 각도 등의 파라미터값을 변화시키며 이차전자의 검출율을 유한요소 해석법을 이용하여 계산하였다.
Recently, SEM is used in development of measurement equipment on the NANO scale to measure size within 10nm. But, this is almost imported from Japan and USA and the quantity of them increases every year. Thus, we wished to construct newly the high detailed measurement system which has the high defin...
Recently, SEM is used in development of measurement equipment on the NANO scale to measure size within 10nm. But, this is almost imported from Japan and USA and the quantity of them increases every year. Thus, we wished to construct newly the high detailed measurement system which has the high definition after design and manufacture an electron detector and a circuit. The nature of the signal collected by an SEM(Scanning Electron Microscope) in order to form images is all dependent on the detector used to collect it, and the quality of an acquired images is strongly influenced by detector performance. Therefore, the development of detector with high performance is very important for improving the resolution of SEM. In this paper, we designed and fabricated both the instrument group that is consisted of faraday cage, light guide, scintillator and PMT and the circuit's one is made up of PMT driving, I/V conversion and voltage amplifier circuits. Moreover, the detector showed performance of the quality level with one of the advanced company(JEOL) during the detection experiments. Especially, we found out the most suitable manufacturing condition of scintillator which is expendable parts for SEM and has comparatively high price. Furthermore, we selected the most optimal position of detector in the chamber of SEM by simulation about the distance between scitillator and sample, detector angle, relative position of detector cover and scintillator.
Recently, SEM is used in development of measurement equipment on the NANO scale to measure size within 10nm. But, this is almost imported from Japan and USA and the quantity of them increases every year. Thus, we wished to construct newly the high detailed measurement system which has the high definition after design and manufacture an electron detector and a circuit. The nature of the signal collected by an SEM(Scanning Electron Microscope) in order to form images is all dependent on the detector used to collect it, and the quality of an acquired images is strongly influenced by detector performance. Therefore, the development of detector with high performance is very important for improving the resolution of SEM. In this paper, we designed and fabricated both the instrument group that is consisted of faraday cage, light guide, scintillator and PMT and the circuit's one is made up of PMT driving, I/V conversion and voltage amplifier circuits. Moreover, the detector showed performance of the quality level with one of the advanced company(JEOL) during the detection experiments. Especially, we found out the most suitable manufacturing condition of scintillator which is expendable parts for SEM and has comparatively high price. Furthermore, we selected the most optimal position of detector in the chamber of SEM by simulation about the distance between scitillator and sample, detector angle, relative position of detector cover and scintillator.
AI-Helper
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.