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다층박막 설계를 위한 산화물 박막의 광학적 특성에 대하여 연구 하였다. TiO₂ 박막의 경우 산소분압 4.0 × 10^(-5) Torr인 경우에 굴절률 값이 2.43으로 높았으며 packing density는 0.94를 보여주고 있다. 산소를 주입하지 않은 상태에서는 흡수가 많아서 정확한 굴절률 값을 구할 수 없었다. SiO₂ 박막의 경우 산소를 주입하지 않은 경우 약간의 흡수가 발생하여 1.66 이라는 높은 굴절률 값이 보여주고 있으며 산소분압 3.0 × 10^(-5) Torr ～ 5.0 × 10^(-5) Torr 까지 주입한 경우에는 모두 1.53이라는 안정적인 굴절률 값과 평균 0.97이라는 packing density를 보여주고 있다. 그리고 증착된 박막의 두께가 증가 할수록 SiO₂ 단결정 굴절률 값에 근접함을 알 수 있었다. ...

다층박막 설계를 위한 산화물 박막의 광학적 특성에 대하여 연구 하였다. TiO₂ 박막의 경우 산소분압 4.0 × 10^(-5) Torr인 경우에 굴절률 값이 2.43으로 높았으며 packing density는 0.94를 보여주고 있다. 산소를 주입하지 않은 상태에서는 흡수가 많아서 정확한 굴절률 값을 구할 수 없었다. SiO₂ 박막의 경우 산소를 주입하지 않은 경우 약간의 흡수가 발생하여 1.66 이라는 높은 굴절률 값이 보여주고 있으며 산소분압 3.0 × 10^(-5) Torr ～ 5.0 × 10^(-5) Torr 까지 주입한 경우에는 모두 1.53이라는 안정적인 굴절률 값과 평균 0.97이라는 packing density를 보여주고 있다. 그리고 증착된 박막의 두께가 증가 할수록 SiO₂ 단결정 굴절률 값에 근접함을 알 수 있었다. ZnO 박막의 경우에는 산소에 의한 영향 보다 기판 온도에 따른 두께의 변화가 많음을 이번 연구를 통하여 확인 할 수 있었으며 산소량이 부족하면 packing density가 낮아짐을 알 수 있었다.

Abstract ▼ AI-Helper

We investigated the optical properties of the electron beam evaporated Oxides thin films depending deposition condition. The refractive indices of the TiO₂ thin films showed higher oxygen pressure 4 × 10^(-5) torr and The packing density showed 0.94. The refractive indices of the SiO₂ thin films sho...

We investigated the optical properties of the electron beam evaporated Oxides thin films depending deposition condition. The refractive indices of the TiO₂ thin films showed higher oxygen pressure 4 × 10^(-5) torr and The packing density showed 0.94. The refractive indices of the SiO₂ thin films showed higher oxygen pressure (3, 4, 5) × 10^(-5) torr. and The average packing density showed 0.97. The refractive indices of the ZnO thin films showed oxygen pressure 1 × 10-4 torr. Multilayer of TiO₂/ZnO/SiO₂ thin films and NIR filter designed with the optical thikness 1/4 λ, respectively

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