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NTIS 바로가기다층박막 설계를 위한 산화물 박막의 광학적 특성에 대하여 연구 하였다. TiO₂ 박막의 경우 산소분압 4.0 × 10^(-5) Torr인 경우에 굴절률 값이 2.43으로 높았으며 packing density는 0.94를 보여주고 있다. 산소를 주입하지 않은 상태에서는 흡수가 많아서 정확한 굴절률 값을 구할 수 없었다. SiO₂ 박막의 경우 산소를 주입하지 않은 경우 약간의 흡수가 발생하여 1.66 이라는 높은 굴절률 값이 보여주고 있으며 산소분압 3.0 × 10^(-5) Torr ~ 5.0 × 10^(-5) Torr 까지 주입한 경우에는 모두 1.53이라는 안정적인 굴절률 값과 평균 0.97이라는 packing density를 보여주고 있다. 그리고 증착된 박막의 두께가 증가 할수록 SiO₂ 단결정 굴절률 값에 근접함을 알 수 있었다. ...
We investigated the optical properties of the electron beam evaporated Oxides thin films depending deposition condition. The refractive indices of the TiO₂ thin films showed higher oxygen pressure 4 × 10^(-5) torr and The packing density showed 0.94. The refractive indices of the SiO₂ thin films sho...
저자 | 최원석 |
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학위수여기관 | 울산대학교 일반대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 물리학과 물리학전공 |
지도교수 | 한성홍 |
발행연도 | 2008 |
총페이지 | 42 |
키워드 | 광학적 특성 산화물 박막 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T11316440&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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