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NTIS 바로가기Study on Fracture Behavior of Quartz Glass for Semiconductor Manufacturing Young-Bae Hong Department of Mechanical Engineering, Graduate School Kum-oh National Institute of Technology Abstract A Quartz glass was first developed to withstand the elevated operating temperatures of high performance lam...
저자 | 홍영배 |
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학위수여기관 | 금오공과대학교 대학원 |
학위구분 | 국내박사 |
학과 | 생산기계공학과 |
지도교수 | 최성대 |
발행연도 | 2008 |
총페이지 | ix, 112 p. |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T11444857&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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