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NTIS 바로가기The wafer positioning robot used in the semiconductor industry is required to operate at high speed for the improvement of productivity. However, the residual vibration produced by the high speed of the wafer positioning robot makes the life of the robot shorter and the cycle time longer. In this st...
저자 | 임재철 |
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학위수여기관 | 호서대학교 대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 기계공학과 기계설계학 전공 |
지도교수 | 김성근 |
발행연도 | 2006 |
총페이지 | 44 p. |
키워드 | 웨이퍼 이송 장치 잔류진동 Wafer Position System Residual Vibration |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T11492857&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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