지난 40년간, 반도체 기술의 발전은 무어의 법칙을 만족시키며 비약적인 발전을 이룩하였다. 반도체 설계, 공정 기술의 발전은 그 제조 공정의 복잡성 또한 크게 증가 시켰으며, 공장의 자동화를 필수적으로 요구하여 기본적이고 핵심적인 요소로 자리하게 만들었다. 이러한 반도체 생산 공정 자동화에 있어서 하나의 필수 요소로 모니터링을 꼽을 수 있겠다. 반도체 생산 장비에 대한 현상 데이터를 수집하는 것은 매우 중요한 작업이다. 수집된 현상 데이터 분석을 통해서 ...
지난 40년간, 반도체 기술의 발전은 무어의 법칙을 만족시키며 비약적인 발전을 이룩하였다. 반도체 설계, 공정 기술의 발전은 그 제조 공정의 복잡성 또한 크게 증가 시켰으며, 공장의 자동화를 필수적으로 요구하여 기본적이고 핵심적인 요소로 자리하게 만들었다. 이러한 반도체 생산 공정 자동화에 있어서 하나의 필수 요소로 모니터링을 꼽을 수 있겠다. 반도체 생산 장비에 대한 현상 데이터를 수집하는 것은 매우 중요한 작업이다. 수집된 현상 데이터 분석을 통해서 공정 제어, 고장 진단, 수율 향상, 공정률 증가 등 다양한 효과를 얻을 수 있다. 이러한 효과를 얻기 위해서 반도체 생산 업체에서는 더 다양하고 효과적인 모니터링 시스템을 필요로 하고 있으며, 많은 장비 제조업체와 반도체 장비 관련 단체들은 품질 향상, 원가 절감이라는 요구에 맞추어 고도의 지능화, 고속화를 지향하는 시스템을 개발하고 있다. 이에 발맞추어 본 논문에서는 반도체 생산 공정의 서로 다른 프로토콜을 사용하는 다양한 장비들에서 전송되는 상이한 데이터들을 통합 처리하여 다양한 모니터링 도구들을 통합적으로 운용할 수 있는 시스템을 제안한다. 이 연구는 SECS-I, HSMS 통신 프로토콜 처리기와 장비의 SECS-II 데이터 메시지를 지원하는 규격화된 XML 포맷 그리고 규격화된 데이터를 통한 모니터링 시스템을 설계하고 구현한다.
지난 40년간, 반도체 기술의 발전은 무어의 법칙을 만족시키며 비약적인 발전을 이룩하였다. 반도체 설계, 공정 기술의 발전은 그 제조 공정의 복잡성 또한 크게 증가 시켰으며, 공장의 자동화를 필수적으로 요구하여 기본적이고 핵심적인 요소로 자리하게 만들었다. 이러한 반도체 생산 공정 자동화에 있어서 하나의 필수 요소로 모니터링을 꼽을 수 있겠다. 반도체 생산 장비에 대한 현상 데이터를 수집하는 것은 매우 중요한 작업이다. 수집된 현상 데이터 분석을 통해서 공정 제어, 고장 진단, 수율 향상, 공정률 증가 등 다양한 효과를 얻을 수 있다. 이러한 효과를 얻기 위해서 반도체 생산 업체에서는 더 다양하고 효과적인 모니터링 시스템을 필요로 하고 있으며, 많은 장비 제조업체와 반도체 장비 관련 단체들은 품질 향상, 원가 절감이라는 요구에 맞추어 고도의 지능화, 고속화를 지향하는 시스템을 개발하고 있다. 이에 발맞추어 본 논문에서는 반도체 생산 공정의 서로 다른 프로토콜을 사용하는 다양한 장비들에서 전송되는 상이한 데이터들을 통합 처리하여 다양한 모니터링 도구들을 통합적으로 운용할 수 있는 시스템을 제안한다. 이 연구는 SECS-I, HSMS 통신 프로토콜 처리기와 장비의 SECS-II 데이터 메시지를 지원하는 규격화된 XML 포맷 그리고 규격화된 데이터를 통한 모니터링 시스템을 설계하고 구현한다.
Production-related status data collection is very important process on semiconductor manufacturing. Because it can improve process contorol, fault diagnosis, enhancing yield, operation rate through using analysis result of collected data. For the purpose, semiconductor makers need simplified monitor...
Production-related status data collection is very important process on semiconductor manufacturing. Because it can improve process contorol, fault diagnosis, enhancing yield, operation rate through using analysis result of collected data. For the purpose, semiconductor makers need simplified monitoring system. And many equipment makers and associations for semiconductor manufacturing are developing web-based systems and making more efficient standards better than now. Also many new standards about automation processing trend to web-based and formatted to XML. But semiconductor manufacturing is installed various equipment using different protocol. Because it is too hard work to simplify monitoring system. So this research suggest simplified monitoring system through simplified equipment message format based on XML. This research design and implement communication protocol processor for PLC/SECS-I/HSMS, standardized XML format support equipment's SECS-II/OPC data and simplified monitoring system for standardized XML format.
Production-related status data collection is very important process on semiconductor manufacturing. Because it can improve process contorol, fault diagnosis, enhancing yield, operation rate through using analysis result of collected data. For the purpose, semiconductor makers need simplified monitoring system. And many equipment makers and associations for semiconductor manufacturing are developing web-based systems and making more efficient standards better than now. Also many new standards about automation processing trend to web-based and formatted to XML. But semiconductor manufacturing is installed various equipment using different protocol. Because it is too hard work to simplify monitoring system. So this research suggest simplified monitoring system through simplified equipment message format based on XML. This research design and implement communication protocol processor for PLC/SECS-I/HSMS, standardized XML format support equipment's SECS-II/OPC data and simplified monitoring system for standardized XML format.
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