EDA의 적용 및 활용이 반도체설비의 생산성에 미치는 영향을 명확화하기 위해서 WET STATION설비를 대상으로 한 실증적 연구를 수행하였다. EDA의 적용으로 인해 설비의 생산성에 영향을 줄 수 있는 요인인 알람개수의 증가, 설비가동시간에 대한 자료를 얻기 위해서 EDA 적용 전/후 한 달 동안의 데이터를 수집하였고, EDA적용 이후에 설비의 알람 및 가동시간이 최적화가 되는가에 초점을 맞췄다. 생산성 향상을 측정하는 기준으로는 MTBA 와 6Sigma를 통한 통계적 분석을 이용하였다. 수집한 데이터를 확인 한 결과 EDA적용 전에는 MTBA(3H=600H/195EA)가 3시간에서 EDA적용 후에는 MTBA가(6H=654H/108EA)가 6시간으로 늘어났으며, 가동시간에 영향을 주는 알람의 개수도 103개에서 45개로 크게 감소함을 확인하였다. 또한 이를 6Sigma 분석 방법을 통해 각 인자(알람 과 가동시간)이 생산성에 영향을 있는지를 통계적으로 분석했으며. EDA의 적용 및 활용이 설비 생산성에 미치는 영향에 대해서 3가지 가설을 검정하였다. 검정 결과 두 독립변수(알람, 가동시간) 모두가 설비 생산성에 유의한 영향을 미치는 것으로 나타났다. 또한 알람과 가동시간 간의 ...
EDA의 적용 및 활용이 반도체설비의 생산성에 미치는 영향을 명확화하기 위해서 WET STATION설비를 대상으로 한 실증적 연구를 수행하였다. EDA의 적용으로 인해 설비의 생산성에 영향을 줄 수 있는 요인인 알람개수의 증가, 설비가동시간에 대한 자료를 얻기 위해서 EDA 적용 전/후 한 달 동안의 데이터를 수집하였고, EDA적용 이후에 설비의 알람 및 가동시간이 최적화가 되는가에 초점을 맞췄다. 생산성 향상을 측정하는 기준으로는 MTBA 와 6Sigma를 통한 통계적 분석을 이용하였다. 수집한 데이터를 확인 한 결과 EDA적용 전에는 MTBA(3H=600H/195EA)가 3시간에서 EDA적용 후에는 MTBA가(6H=654H/108EA)가 6시간으로 늘어났으며, 가동시간에 영향을 주는 알람의 개수도 103개에서 45개로 크게 감소함을 확인하였다. 또한 이를 6Sigma 분석 방법을 통해 각 인자(알람 과 가동시간)이 생산성에 영향을 있는지를 통계적으로 분석했으며. EDA의 적용 및 활용이 설비 생산성에 미치는 영향에 대해서 3가지 가설을 검정하였다. 검정 결과 두 독립변수(알람, 가동시간) 모두가 설비 생산성에 유의한 영향을 미치는 것으로 나타났다. 또한 알람과 가동시간 간의 교호작용도 확인되었다. 본 연구에서는 EDA 도구의 활용 시 문제가 될 수 있는 부분의 대책도 연구됐으며, EDA도구의 적용이 설비의 알람 발생 회수의 저하와 가동시간의 증가를 가져 올수 있다는 것을 증명함으로서 EDA도구를 적용 및 활용할 경우 반도체 설비 전체의 생산성을 높일 수 있다는 결과를 도출하였다.
EDA의 적용 및 활용이 반도체설비의 생산성에 미치는 영향을 명확화하기 위해서 WET STATION설비를 대상으로 한 실증적 연구를 수행하였다. EDA의 적용으로 인해 설비의 생산성에 영향을 줄 수 있는 요인인 알람개수의 증가, 설비가동시간에 대한 자료를 얻기 위해서 EDA 적용 전/후 한 달 동안의 데이터를 수집하였고, EDA적용 이후에 설비의 알람 및 가동시간이 최적화가 되는가에 초점을 맞췄다. 생산성 향상을 측정하는 기준으로는 MTBA 와 6Sigma를 통한 통계적 분석을 이용하였다. 수집한 데이터를 확인 한 결과 EDA적용 전에는 MTBA(3H=600H/195EA)가 3시간에서 EDA적용 후에는 MTBA가(6H=654H/108EA)가 6시간으로 늘어났으며, 가동시간에 영향을 주는 알람의 개수도 103개에서 45개로 크게 감소함을 확인하였다. 또한 이를 6Sigma 분석 방법을 통해 각 인자(알람 과 가동시간)이 생산성에 영향을 있는지를 통계적으로 분석했으며. EDA의 적용 및 활용이 설비 생산성에 미치는 영향에 대해서 3가지 가설을 검정하였다. 검정 결과 두 독립변수(알람, 가동시간) 모두가 설비 생산성에 유의한 영향을 미치는 것으로 나타났다. 또한 알람과 가동시간 간의 교호작용도 확인되었다. 본 연구에서는 EDA 도구의 활용 시 문제가 될 수 있는 부분의 대책도 연구됐으며, EDA도구의 적용이 설비의 알람 발생 회수의 저하와 가동시간의 증가를 가져 올수 있다는 것을 증명함으로서 EDA도구를 적용 및 활용할 경우 반도체 설비 전체의 생산성을 높일 수 있다는 결과를 도출하였다.
The study was carried out with a wet station semiconductor tool to examine how the use and application of EDA too affects the productivity of semiconductor equipment. The data gathering such as alarm occurrence and hours of operation which may or may not affectate semiconductor productivity was star...
The study was carried out with a wet station semiconductor tool to examine how the use and application of EDA too affects the productivity of semiconductor equipment. The data gathering such as alarm occurrence and hours of operation which may or may not affectate semiconductor productivity was started before applying EDA tool and continued until a month after the application and the study focused on whether the alarm occurrence and hours of operation was optimized after the applying EDA tool. MTBA and the statistical analysis of Six Sigma were used to measure the productivity improvement. MTBA has been increased from 3 hours ？to 6 hours after applying EDA, and the number of alarms, which directly affect the hours of operation has been decreased from 103 to 45 significantly. ？ Also the each factor has been analyzed through Six Sigma statistical analysis methods, and tested 3 hypotheses, which application and use of EDA effects the productibity of production tools. The result is that the two independent factors (alarm occurence, hours of operation) both have significant effect on the productivity. The three hypotheses which effect of EDA application were examined. The result of examination showed that the both two of independent variables (alarm occurrence, hours of operation) have effects on the semiconductor productivity and also confirmed that there is an interaction between alarm occurrence and hours of operation. The study also includes countermeasures which deals with side effects of EDA tool application, and proved that the EDA tool application will decrease alarm occurrence and increase the hours of operation and in result, the EDA tool will increase the semiconductor productivity.
The study was carried out with a wet station semiconductor tool to examine how the use and application of EDA too affects the productivity of semiconductor equipment. The data gathering such as alarm occurrence and hours of operation which may or may not affectate semiconductor productivity was started before applying EDA tool and continued until a month after the application and the study focused on whether the alarm occurrence and hours of operation was optimized after the applying EDA tool. MTBA and the statistical analysis of Six Sigma were used to measure the productivity improvement. MTBA has been increased from 3 hours ？to 6 hours after applying EDA, and the number of alarms, which directly affect the hours of operation has been decreased from 103 to 45 significantly. ？ Also the each factor has been analyzed through Six Sigma statistical analysis methods, and tested 3 hypotheses, which application and use of EDA effects the productibity of production tools. The result is that the two independent factors (alarm occurence, hours of operation) both have significant effect on the productivity. The three hypotheses which effect of EDA application were examined. The result of examination showed that the both two of independent variables (alarm occurrence, hours of operation) have effects on the semiconductor productivity and also confirmed that there is an interaction between alarm occurrence and hours of operation. The study also includes countermeasures which deals with side effects of EDA tool application, and proved that the EDA tool application will decrease alarm occurrence and increase the hours of operation and in result, the EDA tool will increase the semiconductor productivity.
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