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[학위논문] 열 기상 증착법에 의해 형성된 구리박막의 실시간 고유 응력 거동에 관한 연구
(A)Study of in-situ intrinsic stress behavior in Cu thin films deposited by thermal evaporation method 원문보기


조무현 (전남대학교 대학원 신소재공학과 국내석사)

초록 ▼
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Volmer-Weber 형의 성장을 하는 구리박막은 두께 증가에 따라 초기 압축, 인장, 2차 압축응력의 독특한 3단계 응력거동을 보인다. 이 단계별 응력 기구를 밝히고자 많은 실험적 연구가 진행되고 있음에도 불구하고 인장응력 및 압축응력이 생성되는 원인에 대해서는 여전히 이해가 부족한 실정이다. 이에 구리박막 증착시 증착속도, 기판의 표면조도 및 온도의 변화가 고유응력에 어떠한 영향을 미치는지에 대하여 연구하였다. 열 기상 증착 법으로 실리콘(111) 기판 위에 구리 ...

주제어

#thin film in-situ stress evaporation 증착법 구리박막 

학위논문 정보

저자 조무현
학위수여기관 전남대학교 대학원
학위구분 국내석사
학과 신소재공학과
지도교수 김영만
발행연도 2009
총페이지 48 p.
키워드 thin film in-situ stress evaporation 증착법 구리박막
언어 kor
원문 URL http://www.riss.kr/link?id=T11777391&outLink=K
정보원 한국교육학술정보원

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