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NTIS 바로가기Volmer-Weber 형의 성장을 하는 구리박막은 두께 증가에 따라 초기 압축, 인장, 2차 압축응력의 독특한 3단계 응력거동을 보인다. 이 단계별 응력 기구를 밝히고자 많은 실험적 연구가 진행되고 있음에도 불구하고 인장응력 및 압축응력이 생성되는 원인에 대해서는 여전히 이해가 부족한 실정이다. 이에 구리박막 증착시 증착속도, 기판의 표면조도 및 온도의 변화가 고유응력에 어떠한 영향을 미치는지에 대하여 연구하였다. 열 기상 증착 법으로 실리콘(111) 기판 위에 구리 ...
저자 | 조무현 |
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학위수여기관 | 전남대학교 대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 신소재공학과 |
지도교수 | 김영만 |
발행연도 | 2009 |
총페이지 | 48 p. |
키워드 | thin film in-situ stress evaporation 증착법 구리박막 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T11777391&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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