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본 연구에서는 연삭과 래핑 가공된 표면에서 나타나는 레이저 산란광을 분석하기 위해 레이저 산란 검사 시스템을 구성하여 마이크로 표면 형상과 레이저 산란 패턴 사이의 상관관계 규명에 관해 연구하였다. 우선 반사표면에서 나타나는 산란광 속성과 이를 이용한 검사법에 대한 고찰을 통해 암시야 기반의 레이저 산란 검사 시스템을 구성하였다. 연삭표면과 래핑표면에서 나타나는 레이저 산란 영상을 분석한 결과 독특한 특징의 레이저 산란 패턴이 각 표면의 마이크로 형상에 의해 나타났다. 또한 다구찌 직교배열법을 이용하여 고품질의 레이저 산란 패턴 영상을 획득하기 위한 레이저 산란 변수들의 최적조건을 선정하였다. 선정된 최적조건 안에서 연삭표면과 래핑표면의 ...

본 연구에서는 연삭과 래핑 가공된 표면에서 나타나는 레이저 산란광을 분석하기 위해 레이저 산란 검사 시스템을 구성하여 마이크로 표면 형상과 레이저 산란 패턴 사이의 상관관계 규명에 관해 연구하였다. 우선 반사표면에서 나타나는 산란광 속성과 이를 이용한 검사법에 대한 고찰을 통해 암시야 기반의 레이저 산란 검사 시스템을 구성하였다. 연삭표면과 래핑표면에서 나타나는 레이저 산란 영상을 분석한 결과 독특한 특징의 레이저 산란 패턴이 각 표면의 마이크로 형상에 의해 나타났다. 또한 다구찌 직교배열법을 이용하여 고품질의 레이저 산란 패턴 영상을 획득하기 위한 레이저 산란 변수들의 최적조건을 선정하였다. 선정된 최적조건 안에서 연삭표면과 래핑표면의 표면거칠기에 따라 변화하는 레이저 산란광의 분포량을 이용하여 회귀분석법을 적용한 결과 표면거칠기와 산란광의 분포량 사이의 상관관계를 정량적으로 규명하였다. 다수의 레이저 산란 영상에 대해 표면거칠기 값을 추정한 결과 신뢰성을 갖는 효율적인 평가방법임을 검증하였다.

Abstract ▼ AI-Helper

In this paper, the correlation between a microtopography of surface and its pattern of scattered image has been quantitatively identified under the dark-field laser scattering. First of all, attributes and inspection techniques of laser scattering are investigated and then a laser scattering inspect...

In this paper, the correlation between a microtopography of surface and its pattern of scattered image has been quantitatively identified under the dark-field laser scattering. First of all, attributes and inspection techniques of laser scattering are investigated and then a laser scattering inspection system is implemented based on analyses of laser scattering parameters and optical deflected scattering rays. As a result of acquired images, a distinct patterns of scattered image are obtained in each surface. The optimum conditions of laser scattering factors on a grinding and lapping surface are selected using the design of experiment. So, high quality images with characteristics of the laser scattering pattern are obtained from variety of surface roughness. The distinct feature, a number of white pixels in the laser scattering image, is linearly increasing as surface roughness of grinding and lapping. A mathematical model results from the correlation between surface roughness and laser scattering pattern, based on regression analysis.