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NTIS 바로가기본 연구는 마이크로 렌즈 어레이 제품의 설계기술 및 생산기술 향상을 위한 가공정도 정보 제공이 가능하도록, 고정밀 대면적 렌즈 어레이 금형과 금형 사출물 등의 측정 및 평가기술 확보를 목적으로 수행되었다. 이를 위하여 범용의 고정도 비접촉식 3차원 미세형상측정기 프로브와 나노미터급의 구동정밀도를 가지는 정밀스테이지가 적용되었다. 접촉식 및 비접촉식 미세형상측정기에 의한 마이크로렌즈 어레이 측정데이터의 파장 대역에서의 성분 분석과 누적성분분포분석을 통해, 광학 프로브 특성으로 인해 나타나는 ...
저자 | 권진하 |
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학위수여기관 | 한양대학교 대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 기계설계·메카트로닉스공학과 |
발행연도 | 2011 |
총페이지 | vi, 43 p. |
키워드 | 기계공학 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T12335030&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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