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통계방법론을 이용한 MEMS 가속도계 성능의 불확실성 해석 및 설계
Performance uncertainty analysis and design of a MEMS accelerometer using statistical methods 원문보기


김용일 (한양대학교 대학원 기계공학과 국내석사)

초록 ▼
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마이크로 기전 시스템(MEMS) 제조 시 발생하는 제조공차는 시스템 변수의 불확실성으로부터 야기되고 이것은 시스템 성능에 영향을 미친다. 본 연구에서는 MEMS 가속도계를 대상으로 시스템 변수의 불확실성을 고려한 마이크로 시스템의 전반적인 설계 절차를 제시하였다. 먼저 MEMS 가속도계를 끝단 질량을 가진 외팔보로 가정하여 ...

주제어

#기계공학 

학위논문 정보

저자 김용일
학위수여기관 한양대학교 대학원
학위구분 국내석사
학과 기계공학과
발행연도 2011
총페이지 iv, 33 p.
키워드 기계공학
언어 kor
원문 URL http://www.riss.kr/link?id=T12335784&outLink=K
정보원 한국교육학술정보원

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