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NTIS 바로가기ITO 박막의 전기, 광학적 특성은 박막의 증착 조건에 따라 매우 심하게 변화한다. 본 연구에서는 기존의 박막의 Quality를 높이기 위해 주로 R.F Magnetron Spu ttering에 의해 공정이 진행되어온 ITO투명전극을 가격이 저렴하고 공정이 간단한 E-beam Evaporation로 비슷한 특성을 구현해 보고자 연구를 진행하였다. In2O3:Sn = 95:5 비율로 구성된 ITO tablet을 사용하여 E-beam Evaporation로 유리기판위에 증착하였고, 증착온도를 250℃, 300℃, 330℃로 변화시켜 증착온도가 ...
저자 | 박연찬 |
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학위수여기관 | 전남대학교 대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 광공학협동과정 |
지도교수 | 김진혁 |
발행연도 | 2011 |
총페이지 | 38 p. |
키워드 | ITO(Indium-Tin-Oxide) |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T12380917&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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