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반도체 공정용 Chiller는 반도체 제조 공정중 부하변동에 따른 온도편차를 최소하기 위하여 2차냉매를 사용하여 반도체 장비를 일정온도로 유지하는 장치이다. 이 때 정밀한 온도제어를 위하여 사용되는 Chiller의 제어 방식으로 압축기의 on-off제어 방식, 2차냉매에 히터를 이용한 제어 방식, 전자식 팽창밸브와 핫가스 바이패스 등을 이용한 제어 방식이 있다. 본 연구는 위의 방식에서 전자식 팽창밸브와 핫가스 바이패스를 이용하고 전열히터를 제외한 제어 방식을 제안하였다. 이것은 기존의 방식에서 압축기의 on-off시 액압축의 문제, 2차냉매에 히터를 사용한 방식의 ...

반도체 공정용 Chiller는 반도체 제조 공정중 부하변동에 따른 온도편차를 최소하기 위하여 2차냉매를 사용하여 반도체 장비를 일정온도로 유지하는 장치이다. 이 때 정밀한 온도제어를 위하여 사용되는 Chiller의 제어 방식으로 압축기의 on-off제어 방식, 2차냉매에 히터를 이용한 제어 방식, 전자식 팽창밸브와 핫가스 바이패스 등을 이용한 제어 방식이 있다. 본 연구는 위의 방식에서 전자식 팽창밸브와 핫가스 바이패스를 이용하고 전열히터를 제외한 제어 방식을 제안하였다. 이것은 기존의 방식에서 압축기의 on-off시 액압축의 문제, 2차냉매에 히터를 사용한 방식의 에너지효율 문제등을 해결하기 위한 방식이다. 전자식 팽창밸브와 핫가스 바이패스를 이용하여 Chiller를 제어하고자 했을 때 전열히터를 사용하지 않은 상태에서 제어 가능성 여부와 제어 가능한 부하의 범위를 실험을 통하여 확인하였다.

Abstract ▼ AI-Helper

A semiconductor processing Chiller is an equipment which controls fluctuation of the semiconductor processing chamber temperature due to load instability by using second coolant. In order to control the chiller more accurately, the special methods such as compressor on-off, the second refrigerant co...

A semiconductor processing Chiller is an equipment which controls fluctuation of the semiconductor processing chamber temperature due to load instability by using second coolant. In order to control the chiller more accurately, the special methods such as compressor on-off, the second refrigerant control method using a heater, and the method using electronic expansion valve control and hot gas bypass valve control are used. In this study, we suggest a controling method which can resolve the problems from the above controlling methods such as refrigerant liquefaction in on-off operation of the compressor and energy inefficiency of the heater aided second coolant control by using electronic expansion valve control method and electronic hot gas bypass valve control method simultaneously, and by excluding electronic heater intentionally. From the experiments, we verified possibility of the heater excluded control and controllable load range.

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