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NTIS 바로가기In many electro-devices, vacuum process has been used for manufacturing process as the conventional semi-conductor manufacturing process. However, Vacuum process is difficult to apply to the continuous process such as R2R printing process, and it causes the very high device’s manufacturing cost with...
저자 | 김정수 |
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학위수여기관 | 부산대학교 |
학위구분 | 국내박사 |
학과 | 지능기계공학과 |
발행연도 | 2012 |
총페이지 | xii, 152 장 |
키워드 | 나노 박막 하이브리드 스프레이 기술 박막 코팅 기술 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T12667888&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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