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Inkjet printing 기술은 결정질 실리콘 태양전지의 전면전극 형성에 있어 미세한 패턴의 형성이 가능하다는 점과 비접촉식 인쇄법이라는 장점을 가지고 있다. 마스크가 필요하지 않은 비접촉식 인쇄법의 특성상 공정이 단순하고, 재료의 낭비가 적기 때문에 비용 측면에서 효율적이다. 하지만 상용 Ag ink의 인쇄만으로는 열처리 공정 중 Si wafer에 코팅된 SiNx ARC층을 에칭할 수 없는 문제점이 있다. 본 연구에서는 열처리　공정　중　SiNx ARC층의　에칭이　가능한　액상형태의　첨가물을　제조하고，　상용　Ag ink와　혼합하여 결정질 실리콘 ...

Inkjet printing 기술은 결정질 실리콘 태양전지의 전면전극 형성에 있어 미세한 패턴의 형성이 가능하다는 점과 비접촉식 인쇄법이라는 장점을 가지고 있다. 마스크가 필요하지 않은 비접촉식 인쇄법의 특성상 공정이 단순하고, 재료의 낭비가 적기 때문에 비용 측면에서 효율적이다. 하지만 상용 Ag ink의 인쇄만으로는 열처리 공정 중 Si wafer에 코팅된 SiNx ARC층을 에칭할 수 없는 문제점이 있다. 본 연구에서는 열처리　공정　중　SiNx ARC층의　에칭이　가능한　액상형태의　첨가물을　제조하고，　상용　Ag ink와　혼합하여 결정질 실리콘 태양전지의 전면전극 형성이 가능한 새로운　single-step inkjet printing용　혼합잉크를　제조하였다． Inkjet printing 장비를 이용하여 SiNx ARC층이 코팅된 （１００）Si wafer에 혼합잉크를　single-step으로 인쇄하고, 건조　및　열처리　공정을　통해　Ag seed layer를 형성하였다. 새롭게 제조한 액상형태의 첨가물은 열처리 공정 중 금속산화물로 열분해 되어 glass frit과 유사한 역할을 하며, 혼합잉크를 인쇄하고 열처리 공정을 거쳐 형성된 Ag seed layer는 screen printing 공정을 통해 형성된 전극과 유사한 미세조직을 보인다. 혼합잉크의 첨가물에 함유된 금속산화물이 1 wt.%만 되더라도 800oC에서 열처리 공정을 거쳐 미세한 Ag crystallite를 형성할 수 있다. 액상형태 첨가물을 혼합한 Ag ink를 사용하여 single-step inkjet printing 공정을 통해 전면전극의 형성이 가능하게 됨으로써, 박형 결정질 실리콘 태양전지의 전극형성 공정을 단순화 하고, 공정 단가를 낮출 수 있게 될 것이다.

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