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AZO는 적외선 및 가시광선 영역에서의 투과성과 전기전도성이 우수하며, 원료 가격이 비교적 낮은 점 등으로 볼 때 ITO를 대체하기 위한 재료로의 가능성을 보이고 있다. 본 연구에서는 RF 마그네트론 스퍼터링법으로 유리 기판의 온도를 24 ℃, 70 ℃, 140 ℃, 200 ℃, 260 ℃, 310 ℃ 로 변화시키면서 박막을 제작한 후, 기판 온도에 따른 AZO 박막의 구조적, 광학적 특성 및 전기적 특성을 연구하였다. 기판 온도가 증가할수록 AZO 박막에 포함된 Al의 양이 증가하였으며, Al/(Al+Zn) 원자 비 역시 증가하였다. 또한 Zn의 양은 줄었으며, 결과를 보아 산소의 양은 늘어났을 가능성이 있다. AZO 박막의 비저항은 T = 260 ℃에서 최저 비저항 값을 나타내었고, 최대 ...

AZO는 적외선 및 가시광선 영역에서의 투과성과 전기전도성이 우수하며, 원료 가격이 비교적 낮은 점 등으로 볼 때 ITO를 대체하기 위한 재료로의 가능성을 보이고 있다. 본 연구에서는 RF 마그네트론 스퍼터링법으로 유리 기판의 온도를 24 ℃, 70 ℃, 140 ℃, 200 ℃, 260 ℃, 310 ℃ 로 변화시키면서 박막을 제작한 후, 기판 온도에 따른 AZO 박막의 구조적, 광학적 특성 및 전기적 특성을 연구하였다. 기판 온도가 증가할수록 AZO 박막에 포함된 Al의 양이 증가하였으며, Al/(Al+Zn) 원자 비 역시 증가하였다. 또한 Zn의 양은 줄었으며, 결과를 보아 산소의 양은 늘어났을 가능성이 있다. AZO 박막의 비저항은 T = 260 ℃에서 최저 비저항 값을 나타내었고, 최대 전하운반자 밀도는 T = 200 ℃에서 최대이다. AZO 박막의 X-선 회절 강도는 (002) 피크가 가장 크며, AZO 박막이 c축으로 성장하였음을 확인하였다. 또한 기판 온도가 증가할수록 (002) 피크의 세기가 증가하였다. AZO 박막들의 가시 광 영역에서의 광 투과도는 80 ~ 85 %로 높게 나타났으며, 기판 온도가 증가함에 따라 AZO 박막이 단파장의 빛을 흡수하였다. 온도에 따른 비저항의 양상을 관찰한 결과, 일정한 Al 농도 이상의 박막에서 특정 온도를 기준으로 온도에 따른 비저항의 양상이 상반되었다. AZO 박막의 전기적 비저항과 광 투과도가 우수하였으며, ITO의 단점을 보완할 수 있는 투명 전도막의 새로운 재료로서의 가능성을 볼 수 있었다. 향후 AZO 뿐만 아니라 차세대 투명 전도막 기술의 개발이 매우 다양한 형태로 이루어질 것을 기대해본다.

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