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NTIS 바로가기Functional single-crystal silicon nanowires (SiNWs) were derived from bulk Si wafers by using a fully-CMOS compatible top-down route, i.e., conventional photolithography combined with crystallographic wet etching, thermal oxidation, and masked ion implantation doping. Based on the SiNWs transferred ...
저자 | 이명원 |
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학위수여기관 | Graduate School, Korea University |
학위구분 | 국내박사 |
학과 | 電子電氣工學科 |
지도교수 | 金相植 |
발행연도 | 2012 |
총페이지 | v, 186장 |
키워드 | CMOS-compatible Silicon nanowires Flexible devices and circuit MOSFET Tunnel FET Subthreshold swing |
언어 | eng |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T12912346&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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