[논문]RF 마그네트론 스퍼터링법으로 성장한 고체 박막의 비휘발성 저항변화 스위칭 특성 연구

이상빈

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RF 마그네트론 스퍼터링법으로 성장한 고체 박막의 비휘발성 저항변화 스위칭 특성 연구 원문보기

이상빈 (연세대학교 대학원 물리학과 국내석사)

초록 ▼
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(Cu,Zn,Pt)-Cu2S-W의 저항 스위칭 현상의 비교와 모델링을 통해 고체 전해질인 Cu2S에서 발생하는 스위칭 현상이 금속 Cu 필라멘트의 형성/분해에 의한 것임을 밝혔으며, 적절한 전극 금속의 선택이 소자의 특성 개선에 영향을 미친다는 사실을 밝혔다. ...

(Cu,Zn,Pt)-Cu2S-W의 저항 스위칭 현상의 비교와 모델링을 통해 고체 전해질인 Cu2S에서 발생하는 스위칭 현상이 금속 Cu 필라멘트의 형성/분해에 의한 것임을 밝혔으며, 적절한 전극 금속의 선택이 소자의 특성 개선에 영향을 미친다는 사실을 밝혔다. 금속 산화물 CuO에서의 저항 스위칭에 따른 물리,화학적 변화를 in situ TEM을 이용해 관찰하였으며, 산소 공동으로 이루어진 필라멘트의 형성/분해가 금속 산화물에서의 스위칭 현상의 원리임을 밝혔다. 또한 저항 스위칭 물질과 전극 사이에 형성된 Schottky barrier의 높이가 스위칭 특성과 밀접한 관련이 있음을 밝혔다. 대표적인 투명 저항 스위칭 물질인 ZnO와 투명전극 ITO를 이용해 투명 저항 스위칭 소자의 구현 가능성을 확인하였으며, ZnO내부에 존재하는 산소 공동이 trap level로 작용하는 space-charge limited current (SCLC)를 이용해 ZnO에서의 전도 현상을 설명할 수 있음을 밝혔다.

주제어

학위논문 정보

저자	이상빈
학위수여기관	연세대학교 대학원
학위구분	국내석사
학과	물리학과
지도교수	조수행
발행연도	2012
총페이지	vii, 51장
키워드	저항 스위칭 RF 마그네트론 스퍼터 resistive switching RF magnetron sputter Cu2S CuO ZnO SCLC
언어	kor
원문 URL	http://www.riss.kr/link?id=T12926092&outLink=K
정보원	한국교육학술정보원

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