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NTIS 바로가기본 논문은 반도체 장비 제조 현장에서 발견 된 문제에 대해서 트리즈 방법론을 이용하여 문제에 접근하였다. 그 전에 현 반도체 장비의 문제 현상에 대해서 기술을 하였다. 이것은 현 상황에 대해서 이해를 돕고자 노력하였다. 그 이후 중점적으로 논문을 하게 된 목적으로 에너지 절감과 Heating Chamber의 문제 해결을 동시에 이뤄내기 위한 이상적 해결책을 찾고자 문제 분석부터 연구하기 시작하였다. 첫 번째, Heating Chamber의 문제를 분석하는 데에는 ...
저자 | 오원남 |
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학위수여기관 | 한국산업기술대학교 산업기술 경영대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 트리즈페이턴트학과 |
지도교수 | 이경원 |
발행연도 | 2013 |
총페이지 | xii, 94 p. |
키워드 | 반도체 CHAMBER |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T13057616&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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