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NTIS 바로가기다이아몬드의 합성과 구조는 혼합기체의 아르곤의 농도와 사이클릭, 바이어스 전압 과정에 의해서 결정된다. 이러한 연구들은 다이아몬드 박막 필름의 결정크기의 다이아몬드가 혼합기체 속에 아르곤의 농도에 따라서 크기가 변하는 것을 나타낸다. 사이클릭과 바이어스 전압은 다이아몬드 박막을 균일하고 높은 밀도로 형성될 수 있도록 도와준다. 이러한 과정은 다이아몬드 박막을 제조하는 공정에서 가격을 낮추는데 중요한 요소가 된다. B2H6을 불순물로 사용한 ...
저자 | 응웬, 반까오 |
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학위수여기관 | 부산대학교 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 나노융합기술학과 |
발행연도 | 2013 |
총페이지 | 74 장 |
키워드 | 붕소 다이아몬드 박막 |
언어 | eng |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T13072787&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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