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NTIS 바로가기세리아 연마제는 높은 산화막의 연마 속도와 연마 중 발생하는 결함이 적어서 Shallow Trench Isolation (STI) CMP 공정에 많이 사용되고 있다. 하지만 웨이퍼 표면에 형성되어 있는 단차를 제거 능력이 매우 낮아 과도한 연마 시간을 필요로 하여 생산성을 떨어뜨리며 슬러리와 ...
저자 | 문진옥 |
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학위수여기관 | 한양대학교 대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 에너지공학과 |
지도교수 | 백운규 |
발행연도 | 2013 |
총페이지 | 46 p. |
키워드 | 화학. 연료 |
언어 | eng |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T13077435&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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