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NTIS 바로가기본 논문에서는 HF-CVD 장비를 이용하여, 다이아몬드 분말이 균질 핵생성하여 가스 상에서 기판 위로 바로 증착되는 gas-to-particle conversion 방식을 연구하며 이때, 기판의 온도와 seeding treatment가 합성에 미치는 영향을 연구하였다. 기판의 표면온도에 따라 합성된 NCD 분말의 클러스터 크기는 온도가 점차 증가할수록 커지는 것을 확인할 수 있으며 이러한 원인은 기존의 확산과 ...
저자 | 조정민 |
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학위수여기관 | 연세대학교 대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 신소재공학과 |
지도교수 | 이욱성,최헌진 |
발행연도 | 2013 |
총페이지 | xii, 86장 |
키워드 | 나노다이아몬드 nanodiamond Gas-to-Particle HF-CVD |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T13147882&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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