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NTIS 바로가기단결정 Si 웨이퍼, 그 위에 스퍼터로 증착한 두께 1 μm의 W과 Ti 박막 등 세 가지 기판 위에서 나노결정질 다이아몬드(NCD) 입자의 성장 거동에 대해 연구하였다. AFM으로 관찰한 ...
저자 | 박동배 |
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학위수여기관 | 한국산업기술대학교 지식기반기술·에너지대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 신소재전공 |
지도교수 | 강찬형 |
발행연도 | 2013 |
총페이지 | vi, 77 p. |
키워드 | Growth Nanocrystalline Diamond Film Substrates |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T13232356&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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