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마이크로웨이브 플라즈마에서 나노결정다이아몬드 입자의 박막 성장 기구
Coalescence of Nanocrystalline Diamond Crystallites into Thin Film in Microwave Plasma 원문보기

한국표면공학회 2009년도 추계학술대회 초록집, 2009 Oct. 14, 2009년, pp.142 - 143  

정두영 (한국산업기술대학교 신소재공학과) ,  강찬형 (한국산업기술대학교 신소재공학과)

초록
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Ar/$CH_4$ 마이크로웨이브 플라즈마 하에서 나노결정다이아몬드 박막의 미세구조 형성 과정에 대하여 연구하였다. 실리콘 기판 위에 불균일 핵생성을 위해 만든 스크래치 자리에 생성된 나노결정 크기의 다이아몬드 입자는 시간의 경과에 따라 성장하고 이웃하고 있는 입자들 간에 접촉이 일어나 표면을 완전히 채우게 되면 다이아몬드 박막이 형성되고 지속적인 박막 두께의 성장이 일어나게 된다. 입자들의 높이(혹은 직경)는 증착시간의 제곱근에 비례하는 것으로 나타났다.

AI 본문요약
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문제 정의

  • 그 이유는 플라즈마 상태에서 존재하는 반응 종이 다양하고 반응이 복잡하기 때문으로 믿어지고 있다. 본 연구에서는 낮은 성장속도 영역에서 일련의 실험을 통하여 NCD 핵이 성장하여 마이크로미터 크기의 입자가 되고 이 입자들이 다시 성장(coalescence)하여 박막으로 변화하는 과정의 조직 변화를 관찰하여 NCD 박막의 성장 기구를 연구하였다.
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