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NTIS 바로가기반도체 제조공정에서는 웨이퍼(Wafer) 표면에 오염 물질이나 미세한 이물질(Particle)들이 회로구성을 방해하거나 금속배선을 단락시켜 제품수율을 저하시키므로, 이를 효과적으로 제거하기 위해 수백 개의 단위공정 전후에 필수적으로 진행되는 것이 바로 세정공정(Cleaning Process)이다. 이러한 세정공정은 초고순도 약품과 초순수(DIW)를 반복적으로 처리하는 과정뿐만 아니라, 웨이퍼와 설비의 접촉면에서의 정전기 발생은 필연적이다. 이렇게 발생한 정전기는, ...
저자 | 조모현 |
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학위수여기관 | 아주대학교 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 산업시스템공학과 |
지도교수 | 장중순 |
발행연도 | 2014 |
총페이지 | 71 p. |
키워드 | 세정공정 Cleaning 정전기 Electrostatic Static Electricity |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T13363415&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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