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반도체용 고순도 재활용 황산의 경제žž·환경 효율에 관한 연구
a study on eco-efficiency of high purity recycling sulfuric acid for semiconductors 원문보기


김성환 (세종대학교 공공정책대학원 산업환경학과 국내석사)

초록
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반도체 산업의 지속적인 발전을 이루기 위해서는 환경적인 성장기여를 이루어야하는 시점에 와 있으며 그중에서 반도체 세정에 사용되는 황산의 사용후 폐기 과정을 검토하였으며 반도체 황산의 리제너레이션을 검토하여 반도체급 황산의 재생산에 사용후 남은 폐기물 황산을 원료로 이용하여 리제너레이션 공정을 거쳐 반도체황산을 새로 만듬으로써 고효율의 경제성의 창출과 폐기물 발생을 극소화 하는 친환경적인 리싸이클 구조를 생성하는 연구를 검토 하였다....

주제어

#황산 재활용 

학위논문 정보

저자 김성환
학위수여기관 세종대학교 공공정책대학원
학위구분 국내석사
학과 산업환경학과
지도교수 안윤기
발행연도 2015
총페이지 55 p.
키워드 황산 재활용
언어 kor
원문 URL http://www.riss.kr/link?id=T13844703&outLink=K
정보원 한국교육학술정보원

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