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NTIS 바로가기반도체산업의 생산품인 Chip의 Design Rule이 Nano 단위의 초미세화 되고 소형화 됨에 따라 이에 맞추어 공정 효율을 높이기 위한 화학물질의 개발이 함께 연구되어 왔다. 그 중 유전막의 재료로 사용되는 재료로 유전율이 높은 물질을 개발하였는데, 이러한 물질은 극인화성 및 자연발화성/금수성의 특징을 가지고 있어 무엇보다 누출이 되지 않도록 관리하는 것이 중요하며 또한 누출되었을 경우 조기감지 및 소화가 중요하다. 따라서, 본 연구에서는 반도체 제조공정에서 사용하는 자연발화성/금수성물질 중 대표적으로 사용하는 TMGa(Tri Methyl Gallium)와 ...
저자 | 강현진 |
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학위수여기관 | 서울과학기술대학교 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 안전환경기술융합학과 |
지도교수 | 이수경 |
발행연도 | 2015 |
키워드 | 자연발화성 금수성물질 소화시스템 청정소화약제 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T13992755&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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