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반도체 산업의 급격한 발전과 함께 취급하는 화학물질도 다양화되고 그 양도 증가하고 있다. 이 중 가스상 물질은 약 100여종 이며 대부분이 가연성 성질을 가지고 있으며 독성이 강하기 때문에 누출감지시스템을 운용하고 있다. 그러나 반도체 산업에서의 직업병 발생으로 인하여 그 실효성에 대한 논란이 있어 설치현황과 운영실태를 파악하고자 하였다.
따라서 국내·외 가스누출감지시스템 관련 운용기준(‘고압가스 저장의 시설 기술검사 안전성평가기준’(KGS FU111), 고용노동부 고시 ‘가스누출감지경보기 설치에 관한 기술상의 지침' (제2015-59호), ...

반도체 산업의 급격한 발전과 함께 취급하는 화학물질도 다양화되고 그 양도 증가하고 있다. 이 중 가스상 물질은 약 100여종 이며 대부분이 가연성 성질을 가지고 있으며 독성이 강하기 때문에 누출감지시스템을 운용하고 있다. 그러나 반도체 산업에서의 직업병 발생으로 인하여 그 실효성에 대한 논란이 있어 설치현황과 운영실태를 파악하고자 하였다.
따라서 국내·외 가스누출감지시스템 관련 운용기준(‘고압가스 저장의 시설 기술검사 안전성평가기준’(KGS FU111), 고용노동부 고시 ‘가스누출감지경보기 설치에 관한 기술상의 지침' (제2015-59호), CCPS, AIHA의 Guideline) 등 을 조사하였으며, 또한 반도체 제조 사업장업에서의 가스누출감지시스템 운영실태를 파악하기 위해 지금까지 발표 된 관련 문헌을 고찰하였다. 연구 결과는 다음과 같다.
첫째, 국내·외 관련 기준을 비교 고찰한 결과 국내기준은 가스누출감지시스템의 운영과 관련된 규정 내용 중 일부사항(예, 차단, 대피 등)이 없었으며, 자료의 기록 및 보관(보정, 감지기 농도 자료 등) 등에 대한 세부적인 사항들에 대해서도 불완전하여 보완이 필요한 것으로 나타났다.
둘째, 반도체 제조 사업장의 가스누출감지시스템 운영실태를 파악한 결과 사업장에 설치된 가스누출감지기의 숫자가 설비 당 1개 이상 설치된 것으로의 조사되어 설치 및 운영비용 대비 효과성에 대한 문제 제기가 될 수 있으며, 감지기의 설치위치나 개수로 보아 품질관리 측면이 강조되고 있어 가스누출감지시스템의 설치 목적에 대한 근본적인 의문이 제기된다고 할 수 있다.

반도체 제조 사업장에 설치된 가스누출감지시스템의 경보발령횟수도 월 평균 52회에 달하고 있어 그 원인을 조사 한 결과 경보발령기준이 낮게 설정되어 있어 경보시스템의 신뢰성을 저하시키는 것으로 나타났다. 우리나라의 경보 발령 기준은 전세계에서 통용되는 CCPS와 AIHA의 Guideline에서 제시한 발령기준보다 상대적으로 낮은 수준인 노출기준을 적용하고 있어, 상대적으로 경보가 많이 발생하고 있다. 또한 경보의 대부분은 예방정비 작업에 의한 잔류물질의 영향으로 발생된 것으로 경보가 이런 수준으로 자주 발생한다면 근로자들이 가스누출감지시스템에 대한 신뢰도가 낮아지게 될 것이며 실제 중요한 경보임에도 불구하고 평상시의 경보 반응으로 생각하여 대응을 하지 않아 치명적인 결과를 초래할 수도 있을 것이다.
국내외 관련 기준을 비교 고찰한 결과 국내기준은 차단, 대피 등의 일부 운영에 관한 내용과 자료의 기록 및 보관 등에 대한 사항들에 대해 보완이 필요했으며, 반도체 제조 사업장의 가스누출감지시스템 운영실태를 파악한 결과 감지기의 설치 개수가 설비 당 1개 이상으로 조사되었고, 경보 발령기준 또한 상대적으로 낮게 적용되고 있어 경보가 자주 발생하고 있다. 이에 가스누출감지시스템의 설치 목적에 대한 재고가 필요한 것으로 판단되었다.
가스누출감지시스템을 왜 공정에 설치했는가에 대한 보다 근본적인 검토가 필요하며 설치위치, 경보 설정 농도 등에 대한 기준 적용 시 가스누출감지시스템의 설치가 근로자 보호, 사고 방지, 법적 규제 준수 중 가장 중요한 목적에 대한 우선순위를 고려하여 설정해야할 것이다.