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NTIS 바로가기The goal of this study is improving PZT sputtering and patterning techniques for applying it to Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers (pMUT) fabrication. In the previous study conducted by Xiong et al. it is shown that PZT thin film can be stably deposited on various surfaces by sputter...
저자 | 윤나리 |
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학위수여기관 | 포항공과대학교 일반대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 기계공학과 음향 진동 트랜스듀서 |
지도교수 | 문원규 |
발행연도 | 2016 |
총페이지 | 57 |
키워드 | PZT. Sputtering pMUT PA loudspeaker |
언어 | eng |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T14178404&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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