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NTIS 바로가기Sputter로 ZnO 박막을 성장시킬 때 일반적으로 ZnO 세라믹 타겟과 산소 가스를 사용한다. ZnO 세라믹 타겟을 사용하는 이유는 Zn 금속 타겟으로 제작한 TFT 보다 전기적 특성이 더 뛰어나기 때문인데, 세라믹 타겟은 표면 상태가 계속 변하여 관리하기 어렵고 가격 또한 높아 대량으로 사용하기 어려운 단점이 있다. 이 때문에 우리는 Zn 금속 타겟으로 ZnO 박막을 성장시켰다. 금속 타겟의 경우 타겟 표면의 상태에 따라 금속성을 띄거나 산화된 형태를 보일 수 있다. 타겟의 표면이 금속성을 띄게 되면 타겟 표면에 산화된 영역이 적어지므로 ...
저자 | 전원진 |
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학위수여기관 | 아주대학교 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 전자공학과 |
지도교수 | 조중열 |
발행연도 | 2017 |
총페이지 | 34 |
키워드 | ZnO TFT RF Magnetron Sputter |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T14401005&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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