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NTIS 바로가기본 연구에서는 용액공정을 이용하여 강유전성을 지닌 하프늄 산화물 초박막을 Pt(111)/TiO2/SiO2/Si 기판 위에 제조하였다. 박막의 두께, 열처리 온도와 yttrium을 도핑하는 것에 대해 최적화하였다. 박막들에 대해서 투과전자현미경 (...
In this study, we report ultrathin ferroelectric hafnium oxide films on Pt(111)/TiO2/SiO2/Si substrates fabricated by chemical solution deposition. We varied film thickness, annealing temperature and yttrium-doping to find optimal conditions. Structure analysis of the films were characterized by tra...
저자 | 김선형 |
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학위수여기관 | 중앙대학교 대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 화학과 무기화학전공 |
지도교수 | 홍종인 |
발행연도 | 2017 |
총페이지 | iv, 47장 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T14428643&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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