FTO (fluorined doped tin oxide) 박막은 염료형태양전지의 전극, OLED의 전극, 발열유리의 저항체, Low-E 유리의 적외선 차단코팅으로 널리 활용되고 있다. FTO 막을 제조하는 공정 중에서 화학 기상 증착법(CVD)을 개량한 nano 사이즈의 에어로졸을 분무 ...
FTO (fluorined doped tin oxide) 박막은 염료형태양전지의 전극, OLED의 전극, 발열유리의 저항체, Low-E 유리의 적외선 차단코팅으로 널리 활용되고 있다. FTO 막을 제조하는 공정 중에서 화학 기상 증착법(CVD)을 개량한 nano 사이즈의 에어로졸을 분무 열분해증착 방법(Spray Pyrolysis Deposition)을 사용하고 있는데, 본 연구에서는 F가 도핑된 SnO2 박막을 제조하여 박막의 발열 특성이 SiO2 barrier layer를 적용하여 보이는 변화에 대한 기초 연구를 수행하였다. FTO (fluorined doped tin oxide) 박막을 히터로서 응용하기 위하여 제조 조건에 따른 특성을 분석하여 히터 특성에 최적화를 하였다. FTO 박막을 발열체로 구현하기 위하여 은-유리 페이스트를 인쇄하고 소부하여 단자전극으로 만들어 전압을 인가해 박막의 두께, 인가 전압에 따른 발열 특성을 확인하였다. FTO 박막 히터는 온도상승에 따라 저항이 변화하였는데, 박막이 얇을수록 이러한 저항 변동치는 더 극단적으로 나타나는 것을 확인하였다. 온도가 상승함에 따라 단자간 저항은 단조롭게 증가하거나 증가/감소/다시증가 하는 등 박막의 두께에 따라 서로 다른 저항-온도 곡선 곡선이 그려졌다. 이에 박막 두께에 따라서 이처럼 서로 다른 저항-온도 곡선을 보이기 때문에, 박막의 표면이 어떠한 영향을 끼질 것으로 가정하고, FTO 박막히터 표면의 영향을 최소화 하기 위한 방안을 모색하였다. FTO 박막 히터 샘플에 열처리와 SiO2 코팅을 통하여 각 박막 히터 샘플의 발열 특성을 비교한 결과 박막 표면차단을 통하여 FTO 박막 히터의 저항 변동치가 안정되는 것을 확인하였다.
FTO (fluorined doped tin oxide) 박막은 염료형태양전지의 전극, OLED의 전극, 발열유리의 저항체, Low-E 유리의 적외선 차단코팅으로 널리 활용되고 있다. FTO 막을 제조하는 공정 중에서 화학 기상 증착법(CVD)을 개량한 nano 사이즈의 에어로졸을 분무 열분해 증착 방법(Spray Pyrolysis Deposition)을 사용하고 있는데, 본 연구에서는 F가 도핑된 SnO2 박막을 제조하여 박막의 발열 특성이 SiO2 barrier layer를 적용하여 보이는 변화에 대한 기초 연구를 수행하였다. FTO (fluorined doped tin oxide) 박막을 히터로서 응용하기 위하여 제조 조건에 따른 특성을 분석하여 히터 특성에 최적화를 하였다. FTO 박막을 발열체로 구현하기 위하여 은-유리 페이스트를 인쇄하고 소부하여 단자전극으로 만들어 전압을 인가해 박막의 두께, 인가 전압에 따른 발열 특성을 확인하였다. FTO 박막 히터는 온도상승에 따라 저항이 변화하였는데, 박막이 얇을수록 이러한 저항 변동치는 더 극단적으로 나타나는 것을 확인하였다. 온도가 상승함에 따라 단자간 저항은 단조롭게 증가하거나 증가/감소/다시증가 하는 등 박막의 두께에 따라 서로 다른 저항-온도 곡선 곡선이 그려졌다. 이에 박막 두께에 따라서 이처럼 서로 다른 저항-온도 곡선을 보이기 때문에, 박막의 표면이 어떠한 영향을 끼질 것으로 가정하고, FTO 박막히터 표면의 영향을 최소화 하기 위한 방안을 모색하였다. FTO 박막 히터 샘플에 열처리와 SiO2 코팅을 통하여 각 박막 히터 샘플의 발열 특성을 비교한 결과 박막 표면차단을 통하여 FTO 박막 히터의 저항 변동치가 안정되는 것을 확인하였다.
FTO (fluorinated doped tin oxide) thin films are widely used as dye-sensitized solar cell(DSSC) electrodes, OLED electrodes, heat-resistant glass resistors, and infrared shielding coatings of low-E glass. In the process of manufacturing the FTO film, ceon Co. ltd, uses a nano aerosol spray pyrolysis...
FTO (fluorinated doped tin oxide) thin films are widely used as dye-sensitized solar cell(DSSC) electrodes, OLED electrodes, heat-resistant glass resistors, and infrared shielding coatings of low-E glass. In the process of manufacturing the FTO film, ceon Co. ltd, uses a nano aerosol spray pyrolysis deposition method, which is an improvement of the chemical vapor deposition method (CVD). In this study, we have conducted a basic study on the difference in the exothermic behavior which is the SiO2 barrier layer of F - doped SnO2 thin film and as-fabricated film. In order to apply fluorine doped tin oxide (FTO) thin film as a heater, experiments were conducted to optimize the heater characteristics by analyzing thin film characteristics according to manufacturing conditions. FTO thin film heater was fabricated through FTO thin film fabrication process optimized for heater characteristics. Ag electrode sintering that can apply voltage on the FTO thin film and heat generation characteristics were confirmed by thickness of the thin film and the applied voltage. The resistance change of FTO thin film heater was confirmed at the time of heat generation, and the resistance change characteristic was more extreme depending on the thickness of the thin film. The heat generation characteristics of the FTO thin film heater samples with different conditions showed that the resistance was increased or decreased as the temperature was raised. As a result, it was confirmed that the behavior of the current was changed, and the influence of the FTO thin film surface was minimized. In order to minimize the influence of the FTO thin film surface, the heating characteristics of each thin film heater sample were compared through heat treatment and SiO2 coating on FTO thin film heater samples.
FTO (fluorinated doped tin oxide) thin films are widely used as dye-sensitized solar cell(DSSC) electrodes, OLED electrodes, heat-resistant glass resistors, and infrared shielding coatings of low-E glass. In the process of manufacturing the FTO film, ceon Co. ltd, uses a nano aerosol spray pyrolysis deposition method, which is an improvement of the chemical vapor deposition method (CVD). In this study, we have conducted a basic study on the difference in the exothermic behavior which is the SiO2 barrier layer of F - doped SnO2 thin film and as-fabricated film. In order to apply fluorine doped tin oxide (FTO) thin film as a heater, experiments were conducted to optimize the heater characteristics by analyzing thin film characteristics according to manufacturing conditions. FTO thin film heater was fabricated through FTO thin film fabrication process optimized for heater characteristics. Ag electrode sintering that can apply voltage on the FTO thin film and heat generation characteristics were confirmed by thickness of the thin film and the applied voltage. The resistance change of FTO thin film heater was confirmed at the time of heat generation, and the resistance change characteristic was more extreme depending on the thickness of the thin film. The heat generation characteristics of the FTO thin film heater samples with different conditions showed that the resistance was increased or decreased as the temperature was raised. As a result, it was confirmed that the behavior of the current was changed, and the influence of the FTO thin film surface was minimized. In order to minimize the influence of the FTO thin film surface, the heating characteristics of each thin film heater sample were compared through heat treatment and SiO2 coating on FTO thin film heater samples.
주제어
#FTO thin film heater TCO heater TCO tin oxide plane heater
학위논문 정보
저자
이정욱
학위수여기관
서울과학기술대학교
학위구분
국내석사
학과
신소재공학과
지도교수
류도형,최병준
발행연도
2016
총페이지
58
키워드
FTO thin film heater TCO heater TCO tin oxide plane heater
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