초록 ▼

용어보기논문에서 용어와 풀이말을 자동 추출한 결과로, 시범 서비스 중입니다. AI-Helper

플렉서블 디스플레이는 가볍지만 견고하며 초대형이지만 공간에 제약이 없다는 점에서 차세대 디스플레이로 주목받고 있다. 이를 구현하기 위해서는 디스플레이를 구성하는 부품들의 유연함이 확보되어야 한다. 특히 기판의 경우 많은 연구가 되고 있는데, 플라스틱 필름이 유연하지만 견고하고, 투명하다는 이점 때문에 유리를 대체할 수 있다. 하지만 플라스틱 필름은 수분과 산소를 투과하는 성질을 가지고 있어서 내부의 소자가 산화되는 문제를 가지고 있다. 이를 극복하기 위해서는 필름에 수분 투과를 차단하는 ...

플렉서블 디스플레이는 가볍지만 견고하며 초대형이지만 공간에 제약이 없다는 점에서 차세대 디스플레이로 주목받고 있다. 이를 구현하기 위해서는 디스플레이를 구성하는 부품들의 유연함이 확보되어야 한다. 특히 기판의 경우 많은 연구가 되고 있는데, 플라스틱 필름이 유연하지만 견고하고, 투명하다는 이점 때문에 유리를 대체할 수 있다. 하지만 플라스틱 필름은 수분과 산소를 투과하는 성질을 가지고 있어서 내부의 소자가 산화되는 문제를 가지고 있다. 이를 극복하기 위해서는 필름에 수분 투과를 차단하는 배리어가 필요하다.
본 논문에서는 Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition(PEALD, 원자 층 증착)을 이용하여 10 nm 두께의 초박막 수분 투과 차단 배리어를 연구하였다. 수십, 수백 nm의 두께에서 탈피하여 roll to roll 프로세스에 적용하여도 막의 손상이 없도록 두께 감소에 목적을 두었다. 전구체는 trimethylaluminum (TMA)와 tetrakis(ethylmethylamino)zirconium (TEMAZ)를 사용하여, 알루미늄 옥사이드와 지르코늄 옥사이드 레이어를 형성하였다. 두 물질이 각 레이어 위에서 어떻게 막을 형성하는지 증착 메커니즘을 이해하고, 최고의 효율을 내도록 구조를 다양하게 적층하여 비교하였다. 또한, 이 무기물 배리어에 유기물 코팅 프로세스를 적용하여 유/무기 하이브리드 구조를 만들었다. 기존의 무기물 기반의 배리어에 유기물을 코팅함으로써 외부 손상으로부터의 보호와 더불어 유연성을 개선하였다.