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[학위논문] Pulsed DC 마그네트론 스퍼터링으로 제조된 TiO2-SiO2 다층박막의 구조 및 광학적 특성 연구
A study on the optical and structural properties of TiO2-SiO2 multi-layered thin film by pulsed DC magnetron sputtering 원문보기


양지혜 (경기대학교 대학원 신소재공학과 국내석사)

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Keyword

#반응성 스퍼터링 광학박막 Pulsed-DC 스퍼터 HDP 

학위논문 정보

저자 양지혜
학위수여기관 경기대학교 대학원
학위구분 국내석사
학과 신소재공학과
지도교수 김동원
발행연도 2018
총페이지 ⅷ, 70 p.
키워드 반응성 스퍼터링 광학박막 Pulsed-DC 스퍼터 HDP
언어 kor
원문 URL http://www.riss.kr/link?id=T14752395&outLink=K
정보원 한국교육학술정보원

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