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최근 환경에 관한 관심이 더욱 고조되면서 각종 폐수 및 폐액의 재활용에 대한 공정 개발이 활발하게 이루어지고 있다. 이 중 반도체 공정에서 화학 물질이 다양하게 사용됨에 따라 공정 과정 중에 배출되는 폐기물 처리가 효율적이지 못하다는 지적이 되어 왔다. 국내 경제 성장의 주요 동인 중 하나로 지속적인 성장을 꾀하고 있는 반도체 산업에서, 공정에서 사용된 세척액 폐액을 다시 정제하여 세척액 재활용을 하는 방법을 사용하는 것은 생산 비용 절감과 환경문제 해결에 도움을 줄 수 있다.
이에 본 연구에서는 ...
저자 | 인성권 |
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학위수여기관 | 한양대학교 융합산업대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 이노베이션공학과 |
지도교수 | 이학준 |
발행연도 | 2020 |
총페이지 | vi, 34 p. |
키워드 | 폐기물처리 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T15482702&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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