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반도체 공장의 순간 전압강하 대책 연구 원문보기


장문환 (충북대학교 전기전산공학과(산업) 국내석사)

초록
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반도체 공장에서는 반도체를 생산하는데 순간전압강하에 대해 매우 민감하며, 그 영향도 크다
이에 대응하고자 무정전 전원 공급장치인 UPS의 많은 투자가 진행되고 있다
과거 순간전압강하 통계를 분석해 보면 UPS 보다는 순간전압강하 보상장치가 더 효율적임을 알았다. 이에 반도체 생산장비와 생산장비 보조설비의 전원등급을 분류하고 분류된 전원등급으로 보상설비의 종류를 구분하였다.
전압강하 허용등급은 A,B,C 등급이며 A등급은 U...

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

Semiconductor factories are very sensitive to momentary voltage drop in the production of semiconductors, and their effects are significant. In response, many investments are underway in UPS, an uninterruptible power supply
Analysis of past momentary voltage drop statistics shows that the moment...

주제어

#반도체 공장에서의 순간 전압강하 대책 연구 

학위논문 정보

저자 장문환
학위수여기관 충북대학교
학위구분 국내석사
학과 전기전산공학과(산업)
지도교수 김재언
발행연도 2020
총페이지 vii, 49 p.
키워드 반도체 공장에서의 순간 전압강하 대책 연구
언어 kor
원문 URL http://www.riss.kr/link?id=T15514970&outLink=K
정보원 한국교육학술정보원
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