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본 논문에서는 반도체 공정 중 발생하는 고조파의 원인을 파악하고 사례를 확인한다. 고조파 발생량을 주요 8개 공정 및 설비군별로 분석하고 저감 방법을 제시한다.
반도체공정 중 발생하는 원인 반도체 설비 공급용 전력 변환 장치 (UPS & VDP)과 RF Generator이다. ...
저자 | 김기욱 |
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학위수여기관 | 아주대학교 |
학위구분 | 국내석사 |
지도교수 | 이교범 |
발행연도 | 2020 |
총페이지 | iv, 23장 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T15530276&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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